Tekanan udara PECVD
Jul 09, 2023| Apabila plasma terbentuk, tekanan gas terlalu besar, gas tindak balas dalam unit meningkat, jadi kadar meningkat, tetapi pada masa yang sama, tekanan udara terlalu tinggi, laluan bebas purata berkurangan, yang tidak kondusif untuk liputan filem pemendapan pada langkah. Tekanan udara yang terlalu rendah akan menjejaskan mekanisme pemendapan filem, mengakibatkan penurunan ketumpatan filem dan mudah membentuk kecacatan jarum. Apabila tekanan udara terlalu tinggi, tindak balas pempolimeran plasma jelas dipertingkatkan, mengakibatkan penurunan keteraturan rangkaian pertumbuhan dan peningkatan kecacatan.
Syarikat IKS PVD, mesin salutan hiasan, mesin salutan alat, mesin salutan DLC, mesin salutan optik, talian salutan vakum PVD, projek kunci-kunci tersedia. Hubungi kami sekarang, E-mel: iks.pvd@foxmail.com
