Masalah biasa peralatan PECVD-Kadar pemendapan rendah
Jul 04, 2023| Masalah biasa peralatan PECVD-Kadar pemendapan rendah
(1) Jika kuasa input RF tidak sesuai, laraskan kuasa RF.
(2) Jika suhu sampel tidak normal, periksa sama ada aliran dan suhu air penyejuk adalah normal.
(3) Tekanan ruang vakum adalah rendah, laraskan aliran gas proses.
Syarikat IKS PVD, mesin salutan hiasan, mesin salutan alat, mesin salutan DLC, mesin salutan optik, talian salutan vakum PVD, projek kunci-kunci tersedia. Hubungi kami sekarang, E-mel: iks.pvd@foxmail.com
←
Sepasang: Tekanan udara PECVD
Hantar pertanyaan