Masalah biasa peralatan PECVD-Kualiti pembentukan filem yang lemah
Jul 03, 2023| Masalah biasa peralatan PECVD-Kualiti pembentukan filem yang lemah
(1) Kebersihan permukaan sampel kurang baik, periksa sama ada permukaan sampel bersih.
(2) Kebersihan ruang proses adalah buruk, dan ruang proses dibersihkan.
(3) Jika suhu sampel tidak normal, periksa sama ada sistem kawalan suhu normal dan kalibrasi termokopel penyukat suhu.
(4) Tekanan tidak normal dalam proses pemendapan filem, periksa kadar kebocoran sistem vakum rongga.
(5) Jika kuasa RF ditetapkan secara tidak betul, periksa bekalan kuasa RF dan laraskan kuasa yang ditetapkan.
Syarikat IKS PVD, mesin salutan hiasan, mesin salutan alat, mesin salutan DLC, mesin salutan optik, talian salutan vakum PVD, projek kunci-kunci tersedia. Hubungi kami sekarang, E-mel: iks.pvd@foxmail.com
