Perkara Perlu Perhatian Ketika Memilih Sasaran Saluran PVD

Sebagai tambahan kepada penggunaan salutan, isu-isu berikut harus dipertimbangkan apabila memilih sasaran yang tepat:

◆ Ia harus mempunyai kekuatan mekanikal yang baik dan kestabilan kimia selepas pembentukan filem.

◆ Ia harus mempunyai daya ikatan yang baik dengan substrat selepas filem sasaran terbentuk. Jika tidak, bahan filem dengan lekat yang baik ke substrat harus digunakan. Pada mulanya, satu lapisan filem bawah terbengkalai dan lapisan filem yang dikehendaki didepositkan.

◆ Bahan filem yang digunakan untuk filem sputtering reaksi mesti dengan mudah bertindak balas dengan gas reaktif untuk membentuk filem kompaun.

◆ Di bawah premis memenuhi keperluan prestasi salutan, semakin kecil perbezaan antara pekali pengembangan haba sasaran dan substrat, lebih baik. Untuk mengurangkan pengaruh tekanan haba

◆ Sasaran yang dipilih mesti memenuhi keperluan teknikal kesucian, kandungan kekotoran, keseragaman komponen, ketepatan pemesinan dan sebagainya.