Punca tdk sama rata Magnetron Sputtered salutan

Tidak kira apa jenis mesin vakum bernilai, keseragaman lapisan ini akan dipengaruhi oleh faktor tertentu.

Operasi Mesin vakum salutan sputtering magnetron adalah untuk membuat elektron ion-ion argon yang dibentuk oleh argon gas membedil dan kemudian membedil sasaran oleh medan magnet yang orthogonal di bawah keadaan vakum, dan ion-ion sasaran akan didepositkan di permukaan daripada bahan kerja untuk salutan borang. Jadi, kita boleh menimbangkan bahawa keadaan vakum, medan magnet dan argon adalah tiga aspek yang berkaitan dengan keseragaman ketebalan filem.

Keadaan vakum dikawal oleh sistem mengepam udara. Setiap port mengepam mesti digerakkan pada masa yang sama di bawah kekuatan konsisten supaya boleh memastikan keseragaman mengepam. Jika pam yang tidak seragam, tekanan dalam Dewan vakum tidak seragam, kerana tekanan mempunyai sesetengah pengaruh ke atas pergerakan ion-ion. Di samping itu, masa mengepam hendaklah dikawal. Terlalu singkat akan mengakibatkan vakum yang tidak mencukupi, tetapi ia akan menjadi satu pembaziran sumber jika ianya terlalu panjang. Tetapi kewujudan vakum tolok menjadikannya perlu.

Kerja-kerja medan magnet orthogonally, tetapi ia adalah mustahil untuk membuat medan magnet intensiti adalah 100% seragam. Secara umum, di mana medan magnet yang kuat, ketebalan filem akan menjadi besar, dan sebaliknya, ketebalan filem akan jadi tidak konsisten.

Keseragaman pembekalan gas argon juga mempengaruhi keseragaman lapisan filem. Prinsip ini sama seperti tahap vakum. Disebabkan oleh kemasukan argon gas, tekanan dalam Dewan vakum akan berubah dengan sewajarnya. Keseragaman ketebalan filem boleh dikawal oleh tekanan seragam.

Walaupun terdapat beberapa faktor yang menyebabkan tdk sama rata filem, tetapi kadar Pas filem adalah sangat tinggi jika operasi Mesin vakum salutan yang betul dilakukan.