Perkara Perlu Perhatian Ketika Memilih Sasaran Pelapisan PVD

Apabila memilih sasaran, kecuali penggunaan salutan, isu-isu berikut harus dipertimbangkan juga:

◆ Salutan yang disimpan oleh sasaran harus mempunyai kekuatan mekanikal yang baik dan kestabilan kimia

◆ Lapisan yang didepositkan oleh sasaran harus mempunyai daya mengikat yang baik dengan substrat. Jika tidak, bahan salutan dengan daya yang mengikat yang baik ke substrat harus digunakan, dan pertama sekali memecut dan mendeposit membran bawah tanah dan kemudian menyediakan salutan yang dikehendaki.

◆ Oleh kerana salutan terbentuk oleh sputtering reaktif, bahan salutan mesti mudah bertindak balas dengan gas dan menghasilkan filem kompaun.

◆ Di bawah premis memenuhi keperluan prestasi lapisan, semakin kecil perbezaan pekali pengembangan haba antara sasaran dan substrat, lebih baik, untuk mengurangkan pengaruh tekanan terma.

◆ Sasaran mesti memenuhi keperluan teknikal kesucian, kandungan kekotoran, keseragaman komponen, ketepatan pemesinan dan sebagainya.