Sistem Drive Dan Sistem Penyejuk Peralatan Salutan PVD
Mar 31, 2018| Sistem Drive
Sistem pemacu membolehkan substrat mengalir dari meletakkan substrat ke dalam peranti untuk pemendapan pemendapan, untuk keluar dari peranti selepas selesai pemprosesan. Sistem pemacu terdiri daripada memandu motor, roda tatal, penukar kekerapan dan sebagainya. Sebab-sebab menambah sistem pemacu adalah:
(1) Pastikan pelapisan ketebalan seragam diedarkan secara meluas.
(2) Mudah untuk merealisasikan penghantaran automatik.
Sistem penyejuk
Sistem penyejukan terutamanya terdiri daripada pam mengedarkan pam molekul air, ruang, pam pam dan motor pemacu penyejukan air beredar. Fungsi utamanya adalah untuk menyejukkan kebuk vakum, pam, pemacu, bekalan kuasa, dan lain-lain Keperluan air penyejukan adalah:
(1) Suhu: 17 ~ 22 ° C;
(2) Tekanan: 2 ~ 3e0.05Pa;
(3) Zarah magnet harus dikeluarkan dari air, dan air perlu dilembutkan, pH = 6 ~ 8.