Pengenalan Kaedah Pengendalian Mesin Salutan Vakum

Mesin salutan vakum adalah alat salutan yang perlu beroperasi pada vakum yang lebih tinggi. Ia dibahagikan kepada dua jenis penyejatan dan sputtering.

Proses penyejatan penyejatan secara amnya adalah bahan sasaran pemanasan, yang menyebabkan komponen permukaan bahan sasaran dikuasi oleh bentuk atom atau ion, dan disimpan di permukaan substrat, membentuk filem nipis melalui proses pembentukan filem.

Pelapisan sputtering sememangnya difahami sebagai penggunaan elektron atau laser tenaga tinggi untuk membombardir sasaran dan membuat komponen permukaan sasaran menjadi sputtering dalam bentuk atom atau ion, dan akhirnya didepositkan pada permukaan substrat, membentuk filem nipis melalui proses pembentukan filem.

Gunakan langkah-langkah:

1. Kaedah pengendalian kabinet kawalan elektromekanik untuk salutan vakum

(1) Buka pam air dan sumber udara.

(2) Hidupkan kuasa utama.

(3) Buka bekalan kuasa pam pam dan meter vakum, kedudukan tolok vakum kedudukan V1, tunggu nilai kurang dari 10, dan kemudian masukkan operasi seterusnya. Mungkin perlu lima minit.

(4) Hidupkan pam mekanikal, lakukan pra-pam, buka turbo bekalan kuasa molekul turbo dan mulakan pam molekul. Suis tolok vakum ditukar kepada kedudukan V2. Selepas ijazah vakum dipam hingga kurang daripada 2, berhenti mengepam, dan ia akan mengambil masa 20 minit.

(5) Apabila pembacaan pam molekul turbin diperhatikan mencapai 250, pam sebelum ini ditutup, kemudian buka pam sokongan dan injap vakum yang tinggi akan terus berpindah. Hanya selepas vakum mencapai 2 × 10-3, bekalan kuasa senjata elektronik boleh dihidupkan.

2. Operasi mesin salutan vakum

(1) Hidupkan kuasa utama.

(2) Pada masa yang sama membuka kawalan senjata api I dan II kuasa elektrik: menurut kawalan senjata elektronik saya kuasa, suis kelewatan, dan kemudian cahaya kelewatan, lampu kuasa dan cahaya perlindungan, menyala. Selepas tiga minit lampu isyarat dan lampu perlindungan dimatikan. Sekiranya pintu belakang tidak ditutup atau geganti aliran rosak, lampu perlindungan akan sentiasa berlaku.

(3) Buka tekanan tinggi, tekanan tinggi akan mencapai lebih daripada 10KV, menyesuaikan rasuk kepada kira-kira 200mA, grid perisai adalah 20V / 100mA, filamen semasa 1.2A, pesongan semasa swing 1 ~ 1.7.

3. Menghidupkan mesin salutan vakum

(1) Matikan pakaian pengukur dan pam molekul.

(2) Apabila pam molekul menunjukkan sehingga 50, injap vakum tinggi, pam sokongan dan pam mekanikal ditutup mengikut urutan. Mungkin perlu 40 minit.

(3) Apabila pam molekul menunjukkan kurang daripada 50, tutup pam induk.