Kesan Bias Pulse Pada Komposisi Dan Struktur Pelbagai Ion Plating Tialn Films

1. Dengan peningkatan bias denyut dan kitaran tugas, zarah-zarah besar di permukaan berkurangan, dan kesan permukaan topografi lebih baik.

2. Apabila nilai puncak voltan bias meningkat, kadar pemendapan menjadi lebih kecil; apabila nisbah tugas meningkat, kadar pemendapan mula-mula meningkat dan kemudian berkurang, dan apabila nisbah duti adalah 40%, kadar pemendapan adalah yang terbesar.

3. Peratusan atom Al terutamanya dipengaruhi oleh nilai puncak nadi denyut dan berkurangan dengan peningkatan voltan bias. Peratusan atom Ti terutamanya dipengaruhi oleh kitaran tugas dan berkurangan dengan peningkatan kitaran tugas.

4. Dengan peningkatan berat sebelah nadi, kekerasan filem meningkat pertama dan kemudian menurun. Dengan peningkatan kitaran duti, kekerasan filem meningkat pertama dan kemudian menurun, dan terdapat perubahan yang jelas.