Baking - Faktor Yang Mempengaruhi Sistem Vakum

Untuk penaik, Untuk mencapai tekanan dalam julat vakum ultra tinggi (<> ^-8 hPa), syarat-syarat berikut mesti dipenuhi:

1. Vakum muktamad pam vakum hendaklah kurang daripada 10 kali tekanan muktamad yang diperlukan.

2. Bahan-bahan yang digunakan untuk ruang dan komponen vakum mesti dioptimumkan untuk pengurangan minimum, dan ia harus mempunyai tahap rawatan permukaan yang sesuai.

3. Meterai logam (contohnya, sambungan flange CF atau standard flange ISO flange Helicoflex) hendaklah digunakan.

4. Pembersihan adalah penting untuk vakum ultra tinggi. Semua bahagian mesti dibersihkan dengan teliti sebelum pemasangan dan pengendali mesti memakai sarung tangan tanpa gris apabila memasang bahagian.

5. Peralatan dan pam vakum yang tinggi mesti dibakar.

6. Kebocoran mesti dielakkan dan dihapuskan sebelum memulakan pemanas. Untuk tujuan ini, pengesan kebocoran helium atau spektrometer massa quadrupole mesti digunakan.

7. Membakar dengan ketara meningkatkan kadar penyerapan dan kelesuan, dan ini membawa kepada pemendekan drastik masa sedutan. Sebagai langkah akhir proses pembuatan, ruang UHV boleh direndahkan pada suhu sehingga 900 ° C. Suhu pembakar berikutnya boleh mencapai 300 ° C. Arahan pengilang pam untuk suhu bakar tertinggi pam flak vakum yang tinggi biasanya mengehadkan suhu maksimum dalam bekerja hingga 120 ° C. Jika sumber haba (sebagai contoh, pemanasan berseri) digunakan dalam peranti vakum, kuasa yang dipancarkan harus diperhatikan.

8. Peralatan akan dipasang selepas dipasang. Selepas mencapai tekanan 10 ^-5 hPa, hidupkan pemanas. Semasa proses pemanasan, tolok vakum telah dikendalikan dan dikeringkan setiap 10 jam. Jika bekas keluli tahan karat dan meterai logam dengan gred rawatan permukaan yang sesuai digunakan, suhu pembakar 120 ° C dan masa pemanasan kira-kira 48 jam adalah mencukupi untuk mencapai julat tekanan ^10-10 hPa.

9. Baking harus diteruskan sehingga mencapai 100 kali tekanan tekanan yang diharapkan. Kemudian matikan pam dan ruang kebuk vakum. Selepas penyejukan, tekanan akhir yang dikehendaki mungkin tercapai. Pada tekanan di bawah 5x10 ^-10 hPa, luas permukaan dalaman yang besar akan berfaedah untuk menggunakan pam yang berkaitan gas (pam pemanlikan titanium) yang mengeluarkan hidrogen keluar dari logam pada kadar aliran volumetrik yang tinggi.