Faktor-faktor yang Mempengaruhi Kadar Sputtering

Faktor-faktor yang mempengaruhi kadar sputtering

1. Jenis zarah kejadian
Semakin tinggi jisim zarah insiden, semakin tinggi kadar sputtering

2. Tenaga ion kejadian
Selepas zarah kejadian melebihi ambang sputtering, apabila tenaga zarah kejadian bertambah,
Sebelum kurang dari 150eV, kadar sputtering adalah berkadar dengan kuadrat tenaga zarah insiden,
Perubahan tidak jelas dalam julat 150-10 kev,
Tenaga insiden terus meningkat, kadar sputtering akan menunjukkan arah aliran menurun

3. Sudut kejadian
Sudut kejadian adalah 0-60 °, dan kadar sputtering meningkat dengan Angle
Kadar sputtering akan menurun dengan ketara jika Angle kejadian maksimum terus meningkat
Sudut kejadian adalah 90 ° dan kadar sputtering adalah 0

4. Jenis dan struktur bahan sasaran
Kadar sputtering umumnya meningkat dengan peningkatan jumlah sasaran atom .

IKS PVD, kelengkapan salutan vakum, hubungi: iks.pvd@foxmail.com