Apakah keperluan teknikal dan struktur untuk mesin salutan vakum penyejatan?
Jan 29, 2019| Apakah keperluan teknikal dan struktur untuk mesin salutan vakum penyejatan?
Teknologi IKS PVD, hubungi kami sekarang, iks.pvd@foxmail.com
I. keperluan struktur
1, struktur peralatan harus susun atur yang munasabah, bentuk yang indah, mudah dioperasikan, mudah dijaga.
2. Struktur dan saiz meterai statik dan dinamik dalam peralatan hendaklah mematuhi peruntukan GB / T 6070 dan JB / T 1090 ~ 1092.
3. Pengukur vakum hendaklah dipasang pada saluran paip vakum rendah dan tinggi dan ruang salutan untuk mengukur tekanan setiap bahagian secara berasingan.
4. Jika unit vakum peralatan dikuasai oleh pam penyebaran, periuk atau kesejukan sejuk hendaklah dipasang di bahagian masuk pam penyebaran.
5, ruang salutan perlu mempunyai jendela pemerhatian, untuk proses salutan peralatan sinaran, tetingkap pemerhatian harus dilengkapi dengan kanta anti-sinar.
6, dengan peralatan pembakar bahan kerja, perlu ada elektrod pengukur suhu atau peranti mengukur suhu.
7, kelajuan putaran mekanisme berputar bingkai kerja mesti memenuhi keperluan reka bentuk produk.
8. Peralatan yang dilengkapi dengan peranti pengeboman ion atau peranti sumber ion tenaga rendah rasuk yang luas boleh berfungsi dengan normal dan stabil selama lebih daripada 30 minit dalam parameter yang dinyatakan dalam keperluan reka bentuk produk.
9. Pemanas dengan dawai tungsten sebagai sumber haba penyejatan boleh membuat penyejatan bahan penyejatan normal, dan dalam proses penyejatan, geometri pemanas tidak akan menjejaskan penyejatan biasa.
10. Sumber penyejatan peralatan mestilah stabil dan mudah disesuaikan dan dikawal. Keperluan teknikal untuk pelbagai sumber penyejatan (seperti sumber penyejatan rintangan, sumber penyejatan rasuk elektron, sumber penyejatan rasuk ion, sumber penyejatan laser, sumber penyejatan induktif, dan lain-lain) hendaklah ditentukan mengikut piawaian produk yang berkaitan.
11. Apabila peralatan mengguna pakai sumber penyejatan rintangan voltan rendah dan tinggi, setiap pemanasan sumber penyejatan hendaklah berfungsi dengan normal di bawah keadaan voltan 4V ~ 20V dan semasa 50A ~ 180A.
Ii. Keperluan pembuatan
1. Kualiti pemesinan, kualiti kimpalan dan kualiti pemasangan bahagian dan komponen peralatan hendaklah mematuhi peruntukan dokumen teknikal pengilang.
2. Nilai Roughness Ra permukaan permukaan salutan peralatan dan permukaan kedap hendaklah tidak lebih daripada 1.6um, dan semua permukaan dalam keadaan vakum akan dibersihkan dengan berkesan dan dikeringkan oleh vakum. Semua bahagian yang berputar, mekanisme mengangkat dan tindakan lain harus fleksibel, tidak terjebak, genangan, longgar, gemetar dan fenomena bunyi tidak normal, dan sebagainya.
3. Bahan-bahan bahagian dan komponen utama peralatan hendaklah mematuhi piawaian bahan yang berkaitan.
4. Kualiti peranti elektrik yang menyokong hendaklah mematuhi dokumen teknikal pengeluar, dan memastikan keselamatan dan kebolehpercayaan peralatan yang beroperasi dan beroperasi.
5. Kualiti penampilan peralatan hendaklah bebas dari keperluan yang tidak berfungsi seperti sudut tajam, tepi, bulges dan permukaan kasar. Hujung bahagian permukaan bersama harus kemas dan bahkan tanpa dislokasi jelas. salutan, tidak jatuh dan karat dan fenomena lain, semua bahagian yang kuat harus berkarat lapisan. Permukaan salutan peralatan harus terang dan bersih, cantik, tegas, tidak menumpahkan, mengelupas dan fenomena lain.
6. Produk sampingan yang dibeli daripada peralatan hendaklah mematuhi standard produk yang sepadan dan hendaklah mempunyai sijil kualiti. Produk tambahan buatan sendiri dalam peralatan hanya boleh digunakan selepas lulus pemeriksaan oleh jabatan pemeriksa pengeluar.
7. Pelbagai sumber penyejatan, sumber ion tambahan dan pengeboman ion, putaran bahan kerja, penaikkan bahan kerja, bias bahan kerja, pemantauan ketebalan filem dan peralatan lain dalam peralatan. Penyahpepijat item dan debugging bersama perlu dijalankan. Apabila bahan kerja dipanaskan pada suhu yang dinilai, suhu permukaan luaran vakum tidak boleh lebih tinggi daripada 45 darjah, dan bahagian bergerak peralatan hendaklah berfungsi dengan normal.