Penyebab filem yang tidak rata oleh mesin salutan magnetron sputtering

Penyebab filem yang tidak rata oleh mesin salutan magnetron sputtering

Apakah faktor-faktor yang membawa kepada mesin salutan vakum magnetron yang tidak merata? Rakan yang utama terlibat dalam tugas ini sebenarnya masih pemahaman komparatif, pada dasarnya ia boleh dibahagikan kepada beberapa faktor berikut: kondisi vakum, medan magnet, argon.

Pengendalian mesin salutan vakum magnetron adalah bahawa ion argon yang dibentuk oleh pengeboman elektron argon dibombardir oleh medan magnet ortogonal di bawah keadaan vakum, dan ion sasaran disimpan di permukaan bahan kerja untuk membentuk sebuah filem.

Dalam keadaan vakum, sistem pam perlu untuk dikawal. Setiap pelabuhan pam mesti bermula pada masa yang sama dan dengan kekuatan yang sama, supaya keseragaman pam dapat dikawal dengan baik. Jika pam tidak seragam, tekanan dalam ruang vakum tidak boleh seragam, dan tekanan mempunyai pengaruh tertentu terhadap pergerakan ion. Di samping itu, masa pam harus dikawal, terlalu pendek akan menyebabkan kekurangan vakum, tetapi terlalu lama dan pembaziran sumber, tetapi terdapat tolok vakum, ia tidak menjadi masalah untuk mengawal.

Kerja medan ortogonal, tetapi anda mesti melakukan intensiti medan magnet seratus peratus adalah tidak mustahil, medan magnet yang kuat, ketebalan filem adalah besar, sebaliknya adalah kecil, jadi akan menyebabkan ketebalan filem tidak konsisten, tetapi dalam proses pengeluaran , kerana medan magnet yang disebabkan oleh filem tidak rata yang tidak sekata tidak biasa, mengapa?

Kekuatan medan magnet asal tidak baik, tetapi pada masa yang sama, bahan kerja beroperasi pada masa yang sama, dan merupakan atom sasaran akhir kes sedimen untuk proses salutan berkali-kali, bahagian untuk tempoh masa walaupun tebal dan bahagian yang nipis, tetapi pada masa yang lain, di bawah tindakan medan magnet yang kuat pada bahagian nipis ketebalan sedimen asal, pada ketebalan bahagian nipis, banyak kali, selepas filem akhir, keseragaman filem yang baik.

Keseragaman argon juga akan mempengaruhi keseragaman filem, prinsip yang hampir sama dengan ijazah vakum. Kerana kemasukan argon, tekanan dalam ruang vakum akan berubah, dan keseragaman tekanan dapat dikendalikan ke dalam keseragaman ketebalan filem mesin salutan vakum magnetron sputtering.