Plasma yang kering

Plasma kering bermaksud menggunakan plasma untuk mencapai keputusan yang kaedah pembersihan konvensional tidak boleh mencapai. Plasma adalah suatu keadaan perkara, juga dikenali sebagai negeri keempat perkara yang bukan kepunyaan bersama tiga-keadaan pepejal, cecair dan gas. Menggunakan cukup tenaga gas untuk ionize ia menjadi negeri plasma.

Komponen-komponen "aktif" plasma yang akan ion, elektron, atom, Kumpulan reaktif, nuclides dalam keadaan teruja (metastasis negeri), foton dan sebagainya. Plasma kering merujuk kepada merawat permukaan sampel dengan menggunakan sifat-sifat komponen-komponen tersebut aktif untuk mencapai kesan kering dan lapisan. Permukaan bahan kerja dianggap oleh tindakan kimia atau fizikal untuk mencapai penghapusan pencemar pada tahap molekul, seterusnya meningkatkan lagi aktiviti permukaan bahan kerja. Bahan cemar yang dikeluarkan boleh mengandungi organik, resin epoksi, photoresist, oksida, bahan cemar microparticle, dll, maka plasma kering adalah sejenis kepersisan tinggi kering. Proses pembersihan yang berbeza perlu digunakan bagi bahan pencemar yang berbeza. Lazimnya bercakap, plasma kering dikelaskan kepada pembersihan kimia, pembersihan fizikal, dan pembersihan kimia fizikal bergantung pada gas proses terpilih.