Tekanan dalaman dan pengukuran salutan vakum PVD

1. tekanan pengenalan

Bilakah objek cacat disebabkan oleh punca Luaran (tekanan, kelembapan, dan lain-lain), kuasa-kuasa dalaman yang berinteraksi antara bahagian objek untuk melawan kesan faktor luaran ini, dan mengambil semula objek daripada kedudukan selepas kecemaran ke kedudukan sebelum kecemaran. Kuasa dalaman ini titik di bahagian cross dipanggil tekanan. Tegasan normal adalah berserenjang dengan keratan rentas, dan tegasan ricih adalah tangent kepada bahagian cross. Stres akan meningkatkan meningkatkan kuasa-kuasa luar. Terdapat had kepada pertumbuhan tekanan bagi bahan tertentu, dan melebihi had ini, bahan tersebut akan musnah.

Bagi sesetengah bahan, tekanan boleh mencapai ini had dipanggil tekanan mutlak bahan. Nilai tekanan muktamad ditentukan oleh ujian mekanikal bahan. Tentera yang diukur hendaklah sesuai untuk mengurangkan had, maksimum tekanan bahan yang mampu keselamatan yang telah ditetapkan, yang merupakan tekanan yang dibenarkan. Jika bahan itu perlu digunakan dengan selamat, tekanan di dalamnya digunakan sepatutnya lebih rendah berbanding dengan had tekanan, sebaliknya bahan akan rosak apabila ia digunakan.

Terdapat sejenis tekanan yang dipanggil tekanan dalaman, iaitu apabila terdapat tidak berkuat kuasa luar, tekanan dalaman di dalam objek itu adalah tekanan dalaman. Dan terdapat tekanan dalaman di PVD salutan. Kerosakan dalaman tekanan adalah sangat besar, jadi saiz dan tahap tekanan dalaman harus perlu juga dikuasai dalam pengeluaran. Penggunaan utama salutan PVD adalah sebagai lapisan pelindung tahan Haus, yang memerlukan ketebalan dan hayat perkhidmatan tertentu, tetapi tekanan dalaman di dalam lapisan menghadkan ketebalan lapisan.  Jika tenaga elastik jumlah unit yang dihasilkan oleh tekanan dalaman melebihi patah tenaga per unit luas, lapisan akan jatuh, jadi ketebalan lapisan didepositkan adalah terhad. Secara amnya, tekanan dalaman, modulus keanjalan dan kekerasan lapisan adalah berkadar antara satu sama lain. Oleh itu, semasa proses pengeluaran, tekanan lapisan terutamanya tekanan dalaman, harus dikawal oleh proses pemendapan wap fizikal. Selepas lapisan lapisan tekanan dalaman harus dapat dikesan, supaya ia boleh diterima dalam julat boleh diterima.

2. Kaedah ujian tekanan

Diffraction X-ray dan elektron (1)

Apabila lapisan berada dalam keadaan stres, kekisi yang akan menukar, dan terus-menerus kekisi akan ditukar. Oleh yang demikian, perubahan diffraction lebar garisan malar kekisi dapat diukur melalui X-ray dan elektron diffraction. Tekanan daripada lapisan boleh dikira mengikut formula yang tertentu.

(2) analisis kecemaran spesimen

Satu hujung sekeping kaca sangat nipis segi empat tepat tetap di Dewan vakum radas salutan, dan kemudian bersalut pada satu permukaan dalam kira-kira. Tekanan salutan menyebabkan kecemaran akhir percuma dalam kira-kira, dan lembaran yang diukur dengan telephoto yang mengukur mikroskop. Jumlah anjakan pada akhir percuma maka dikira berdasarkan formula mekanikal bahan.

(3 interferometri optik)

Menggunakan interferometri optik untuk mengukur pinggiran gangguan tekanan salutan dibentuk antara plat standard dan bebas bersalut substrat di interferometer tersebut, dan kemudian bersalut pada substrat tersebut disebabkan oleh kesan tekanan salutan, ubah bentuk permukaan substrat, maka ukuran pinggiran gangguan dibentuk di antara plat standard dan substrat bersalut di interferometer, berdasarkan perubahan pinggiran gangguan, mengira tekanan lapisan dengan menggunakan Formula mekanik bahan.

Untuk lebih satu dekad,IKSDengan mengkhusus dalam semua jenis salutan vakum permohonan peralatan perkilangan, khusus untuk penyelidikan dan pembangunan serta pengeluaran Mesin vakum salutan, dengan teknologi terkini sentiasa menghasilkan memenuhi keperluan pasaran peralatan salutan vakum , menyediakan pelanggan-pelanggan dengan penyelesaian tersuai teknologi dan peralatan