Pemeriksaan Pelekat Salutan PVD

Daya ikatan salutan merujuk kepada lekatan salutan ke permukaan substrat, iaitu, kesukaran untuk mengalihkan salutan dari substrat. Semakin sukar untuk pelucutan, semakin baik pelekatan salutan. Secara umum, jika sempadan antara lapisan dan substrat tidak jelas, ia menunjukkan bahawa pelekatan salutan sangat baik.

Kaedah pengesanan lekatan salutan termasuk ujian lenturan, ujian pelekatan lekatan, ujian tegangan pelekat, ujian calar, ujian lekukan dan ujian bola. Untuk salutan PVD, tiga kaedah terakhir biasanya digunakan.

1. Kaedah ujian calar

Menggunakan tiga jarum yang diisi dengan bola berlian untuk terus berturut-turut pada kelajuan tertentu pada permukaan salutan, pada masa yang sama, beban pada jarum secara beransur-ansur meningkat, dan beban yang salutan itu dipakai sepenuhnya pada saat itu adalah daya mengikat salutan. Untuk meningkatkan ketepatan pengukuran, sensor yang boleh menerima bunyi yang lemah dipasang di antara sekeping yang diukur dan jarum, dan kemudian isyarat itu diperkuatkan. Melalui sensor, bunyi jarum semasa keseluruhan strok boleh direkodkan, dan beban yang digunakan dan lengkung intensiti isyarat bunyi akan ditarik secara automatik. Beban yang sepadan dengan puncak spektrum bunyi pertama yang muncul pada lengkung adalah nilai kritikal daya mengikat salutan ke substrat.

2. Kaedah ujian lekapan

Ujian lekukan dilakukan pada penguji kekerasan Rockwell, dan kaedah ujian yang berbeza digunakan untuk substrat bahan yang berbeza. Untuk substrat keluli, kaedah HRC digunakan dan beban tekanan ujian adalah 15 okgf, dan untuk substrat kekerasan yang tinggi, seperti aloi keras, kaedah HRA digunakan dan beban tekanan ujian ialah 60kgf.

Apabila ujian, induktor berbentuk kerucut penguji kekerasan Rockwell (Sud kon 120, jejari tip 0.2mm) ditekan ke permukaan salutan yang diuji di bawah tekanan ujian tertentu. Selepas masa yang tertentu (Program kekerasan ditetapkan secara automatik, kira-kira 6s), tekanan akan dikeluarkan, dan kepala tekanan akan memecah simpul conical pada permukaan sampel. Ia diperhatikan dari bahagian depan dan lekukan adalah bulatan.

Sekeping bahan atau ujian diukur oleh penguji kekerasan Rockwell dan diletakkan di bawah projektor untuk memeriksa kelikatan lapisan. Keadaan salutan pada pinggir jejak diperkuat oleh projektor, yang dibandingkan dengan kriteria penetapan retakan, dengan itu menentukan gred kekuatan melekat salutan. Kaedah pengukuran pelekatan salutan kini digunakan di lebih banyak syarikat pengeluaran.

3. Kaedah ujian tanda bola

Ujian ujian bola adalah untuk mengisar salutan pada permukaan salutan dengan diameter bola keluli tertentu, meninggalkan bulatan pada salutan dan substrat, atau elips (permukaan salutan adalah silinder). Masa pengisaran mesti dikuasai, dan kedalaman lubang mesti melebihi ketebalan lapisan. Di samping itu, kerana salutan sangat keras, sukar untuk bola keluli memakai salutan secara langsung. Oleh itu, apabila mengisar, gunakanlah beberapa serbuk berlian (saiz bijian di bawah 7um) di kawasan pengisaran bola, dan semburan alkohol untuk mencairkan serbuk berlian. Memperbesar lubang sebanyak 50 ~ 100 kali di bawah mikroskop, kita akan melihat sempadan antara salutan dan substrat, dan memerhatikan bentuk garis sempadan untuk menilai daya ikatan antara salutan dan substrat. Sekiranya garis itu sangat jelas dan kemas, kekuatan mengikat lapisan tidak baik, dan jika garis penentuan ini terhenti atau kesalahan berlaku, salutan mempunyai lekatan yang baik.