Langkah-langkah Asas Proses Saluran PVD Vakum
Apr 11, 2018| Proses pretreatment
Menghancurkan, letupan, penggilap, berpindah, membersihkan, mengepel
Proses salutan
Pemindahan, pemanasan, ujian kadar kebocoran, pembersihan pengeboran, salutan, penyejukan
Selepas rawatan
1. Pembersihan: Pastikan permukaan produk sebelum salutan bersih, permukaan bersih, lebih baik kualiti salutan boleh dijamin.
2. Pemindahan: Memindahkan gas sisa dari ruang vakum.
3. Pemanas: Relau dan bahan kerja dipanaskan pada masa yang sama untuk mempercepatkan pembebasan gas sisa.
4. Ujian kadar peningkatan voltan: Kadar kebocoran gas dan kadar pelepasan gas relau ujian.
5. Pembersihan pengeboman: Keluarkan kotoran dari permukaan bahan kerja untuk mendedahkan permukaan yang bersih.
6. Salutan: Filem yang di-deposit.
7. Penyejukan: Elakkan pengoksidaan dan perubahan warna bahan kerja.
Mengapa menyejukkannya?
Selepas proses salutan selesai, suhu ruang vakum adalah sehingga 500 ° C. Jika ia dipindahkan tanpa penyejukan, permukaan bahan kerja suhu tinggi yang tidak disalut akan menjadi biru kerana tindak balas dengan udara.
Bagaimana untuk menyejukkan?
1. Untuk menutup injap tinggi dan tolok vakum, dan ruang vakum dipisahkan dari kumpulan pam.
2. Apabila pengendali menekan butang melepaskan N 2 , nitrogen yang disambungkan terlebih dahulu akan diisi ke dalam ruang vakum melalui injap inflasi N 2 dan apabila tekanan dalam ruang vakum mencapai tekanan preset suis tekanan, N 2 injap inflasi ditutup.
3. Ruang vakum dipenuhi dengan sejumlah besar N2, dan ijazah vakum sangat rendah, yang lebih kondusif untuk konduksi haba. Ia boleh memendekkan masa penyejukan dan meningkatkan kecekapan pengeluaran, dan masa penyejukan sebenar dapat dikurangkan dari 90 minit hingga 60 minit.
4. Oleh kerana helium mempunyai kekonduksian termal yang lebih tinggi, penyejukan helium lebih cepat daripada nitrogen, tetapi kosnya lebih tinggi.
5. Program penyejukan pesat bagi peralatan asing boleh memendekkan masa penyejukan sebanyak 50% melalui penyejukan kitaran penyejukan gas.
Sebab-sebab ujian kenaikan tekanan
Persekitaran vakum adalah faktor terpenting yang mempengaruhi kualiti salutan akhir. Sebelum salutan, kadar kenaikan tekanan mesti dilakukan untuk memastikan keadaan persekitaran vakum memenuhi piawaian salutan.