Apakah Keracunan Sasaran Dalam Spekter Magnetron? Apakah Faktor-faktor Yang Mempengaruhi Faktor Dan Penyelesaian?
Jun 11, 2018| 1. Keracunan sasaran
◆ Pengumpulan ion positif
Apabila sasaran diracun, satu filem penebat terbentuk pada permukaan sasaran. Apabila ion-ion positif mencapai permukaan sasaran katod, ia tidak boleh dimasukkan ke dalamnya kerana halangan lapisan penebat, tetapi terkumpul di permukaan sasaran. Oleh itu, medan sejuk mudah dijana serta arc discharge - arc lighting. Jadi, spattering katod tidak dapat diteruskan.
◆ Anod hilang
Apabila sasaran diracun, satu filem penebat juga disimpan di dinding ruang vakum yang berasaskan. Elektron yang mencapai anod tidak boleh memasuki anod dan hilang.
2. Mempengaruhi faktor-faktor keracunan sasaran
Faktor-faktor yang mempengaruhi keracunan sasaran adalah terutamanya nisbah gas reaktif dan gas sputtering. Gas reaksi yang berlebihan akan menyebabkan keracunan sasaran. Dalam proses proses sputtering reaktif, kawasan saluran sputtering di permukaan sasaran ditutup oleh produk reaksi, atau produk reaksi dipotong untuk mendedahkan semula permukaan logam, yang berdagang dan bergilir.
Sekiranya kadar pembentukan sebatian lebih besar daripada kadar sebatian yang dilucutkan, kawasan yang diliputi oleh kenaikan kompaun. Pada kuasa tertentu, jumlah gas tindak balas yang terlibat dalam pembentukan sebatian meningkat, dan kadar pembentukan kompaun meningkat. Jika jumlah gas tindak balas meningkat secara berlebihan, kawasan yang diliputi oleh kenaikan kompaun.
Sekiranya aliran gas reaktan tidak dapat diselaraskan pada waktunya, kadar kenaikan kawasan liputan kompaun tidak boleh ditindas, dan saluran pembaziran akan terus dilindungi oleh kompaun, apabila sasaran sputtering sepenuhnya ditutup oleh kompaun, sasaran benar-benar diracun.
3. Penyelesaian keracunan sasaran
◆ Mengamalkan kuasa frekuensi sederhana atau kuasa RF.
◆ Mengamalkan gelung tertutup untuk mengawal jumlah gas reaktan.
◆ Gunakan sasaran berkembar
◆ Mengendalikan transformasi lapisan salutan: Sebelum salutan, kumpulkan keluk kesan hysteresis keracunan sasaran, buat aliran masuk masuk dikawal di hadapan keracunan sasaran, dan pastikan bahawa proses sentiasa dalam mod yang sebelum penurunan kadar penurunan secara mendadak.
