Ciri-ciri Unit vakum yang sangat tinggi dan mengkelaskan
Oct 26, 2018| Ultra tinggi unit vakum yang beroperasi di atas 10-5pa termasuk penyebaran pam, pam molekul ultra-Quality vakum unit dan unit vakum ultra-Quality percuma minyak. Unit ini mempunyai ciri-ciri berikut:
Tahap maksimum vakum pam utama adalah lebih tinggi daripada 10-7 ~ 10-8pa.
(2) boleh menahan suhu tinggi 200 ~ 450 ℃ penaik;
Tekanan separa gas balik pam utama adalah rendah.
Untuk pam utama dengan ' selectivity ' yang tinggi, ia hendaklah dilengkapi dengan pam bantuan cukup besar.
(1) ultra-Quality unit vakum pam penyebaran
Vakum yang muktamad ultra-Quality unit vakum dengan penyebaran pam seperti pam utama adalah 10-7 ~ 10-8pa.
Untuk mengurangkan pengaruh penyebaran gas terbalik dari peringkat Penyambut pam penyebaran dan penyebaran terbalik mekanikal pam minyak di tahap vakum tertinggi, penyebaran pam dengan kelajuan pam yang lebih rendah boleh digunakan di peringkat Penyambut itu diffu Sion pam untuk mengurangkan nisbah mampatan dan mengundurkan penyebaran. Jika perangkap sublimasi titanium yang ditambah inlet pam penyebaran, tekanan separa nitrogen daripada penyebaran pam boleh dikurangkan lagi dan satu vakum Super-tinggi 10-11pa diperolehi.
(2) ultra-Quality unit vakum pam molekul
Vakum maksimum unit vakum yang ultra tinggi, yang sebahagian besarnya menggunakan pam molekul, ialah 10-8pa, yang dicirikan oleh ringkas dan pencemaran minyak rendah.
Kelajuan mengepam boleh ditingkatkan dengan menambah cecair nitrogen sejuk perangkap dalam unit. Salur pam mekanikal disediakan dengan perangkap sejuk air untuk mengelakkan wap minyak daripada memasuki sistem.
(3) unit vakum ultra-Quality percuma minyak
Unit vakum yang menggunakan minyak untuk membuat kerja cecair dan mengelak dengan bahan organik dipanggil unit vakum Super-tinggi tanpa minyak. Pam utama yang biasa digunakan termasuk pam cryogenic titanium pam, pam ion sputtering, dan lain-lain. Berbanding dengan unit vakum minyak, ia mempunyai kelebihan berikut:
Vakum yang bersih dan tiada sumber pencemaran boleh diperolehi.
Apabila pam vakum percuma minyak dimulakan, pam sebelum boleh terasing.
Jika pengudaraan yang berhenti secara tiba-tiba, sistem tidak akan tercemar;
Ia mempunyai tiada minyak, tiada bunyi bising dan getaran tiada, yang meningkatkan persekitaran kerja.
Tahap vakum terminal adalah tinggi, kelajuan pam adalah tinggi, dan masa mengepam adalah pendek.
