Jenis Pemilihan Unit Vakum
Jun 30, 2018| 1. Komposisi dan Klasifikasi Unit Vacuum
Unit vakum umumnya terdiri daripada komponen-komponen berikut: pam vakum, peranti pengukur vakum, injap vakum, paip vakum dan beberapa komponen lain seperti penghancur, sendi vakum, tangki simpanan gas, belos, pengumpul habuk dan relay vakum.
Menurut tekanan kerja unit, terdapat unit vakum kasar (> 1330Pa), unit vakum yang rendah (1330 ~ 0.13Pa), unit vakum yang tinggi (0.13 ~ 1.3x10-6Pa), unit vakum yang tinggi (1.3x10-6 ) ~ 1.3 × 10-11 Pa) dan unit vakum yang sangat tinggi (<1.2 ×="" 10-11="">
2. Unit Vacuum Rendah
Ciri-ciri utama unit vakum rendah adalah tekanan kerja tinggi dan anjakan besar, tetapi kelajuan pam lebih rendah daripada unit vakum tinggi. Ia kebanyakannya digunakan untuk mengepam kebuk vakum dan beberapa unit vakum yang memerlukan tekanan kerja yang tinggi seperti unit pelepasan vakum, unit penyembuhan vakum, unit penapis vakum, unit degassing vakum, unit pengeringan vakum dan sebagainya. Pam utama vakum rendah vakum biasanya pam pam vakum, pam vakum meterai minyak, pam jet air, pam air jet wap, pam cincin air, pam jet wap minyak, pam penjerapan ayakan molekular dan pam akar. Apabila menggunakan unit vakum rendah, ia juga perlu untuk mengkonfigurasi komponen seperti pemungut habuk dan penapis kering mengikut keperluan proses tahap kebersihan dan kelembapan gas untuk dipam.
3. Unit Vacuum Tinggi
3.1 Pilih pam utama. Pam utama boleh menjadi pam penyebaran, pam molekul, pam ion sputter, pam titanium, pam kriogenik dan sebagainya.
3.2 Pilih pam sokongan dan paip penyimpanan gas (shockproof, memendekkan kitaran kerja, mengelakkan kebocoran besar dalam ruang vakum, dan menstabilkan tekanan keluar dari pam penyebaran)
4. Unit Vakum Ultra Tinggi
Vakum utama pam utama adalah tinggi, kadar kebocoran adalah rendah, dan tahan terhadap baking pada suhu 200-450 ° C.
4.1 Unit pam penyerapan: mengurangkan aliran balik dan pencemaran kawalan.
4.2 Unit pam molekul: Nisbah mampatan kepada hidrogen adalah kecil, dan gas sisa terutamanya hidrogen.
4.3 Unit pam ion sputter: Biasanya digunakan dalam kombinasi dengan pam titanium.
4.4 Unit pam cryogenic: tiada pencemaran.