Teknik Pengesanan Kebocoran Terbaik Untuk Mesin Salutan PVD
Apr 16, 2018| Pengesanan Kaedah Bubble
Pengesanan kaedah gelembung salutan PVD lebih disukai untuk kontena salutan PVD atau peranti yang sedang diproses. Pengesanan kaedah gelembung salutan PVD bermakna mengisi bahagian yang diuji dengan gas indikasi kebocoran tekanan tertentu, dan kemudian masukkan bahagian yang diuji ke dalam cecair. Gas akan memasuki cecair di sekitarnya melalui lubang bocor untuk membentuk buih. Dan tempat di mana gelembung adalah kedudukan lubang bocor. Selain itu, kadar kebocoran lubang boleh dianggarkan mengikut kadar pembentukan dan saiz buih, serta sifat fizikal gas indikasi kebocoran.
Pengesanan Kaedah Penutup
Pengesan Kaedah Penutup merujuk kepada satu kaedah yang meliputi seluruh peranti salutan PVD dengan beg plastik etilena (penutup), dan kemudian mengisi beg dengan helium, iaitu, keseluruhan bekas vakum direndam di dalam helium untuk pengesanan kebocoran. Selepas memindahkan sepenuhnya gas, buat injap utama, injap kasar, dan injap kebocoran padam. Kemudian gunakan alat pengukur vakum pengionan BA untuk mengukur perubahan kenaikan tekanan untuk menentukan sama ada terdapat kebocoran.
Lapisan PVD adalah jumlah kenaikan tekanan akibat kebocoran gas dan kenaikan tekanan yang disebabkan oleh bahan degassing, dan akhirnya ia adalah peningkatan linear yang berkadar dengan masa. Apabila lengkung salur PVD mempamerkan keadaan sedemikian seperti yang diterangkan di atas, ini bermakna kebocoran peranti. Apabila tiada kebocoran dan hanya bahan degassing, lengkung harus tepu. Sekiranya terdapat kebocoran sahaja tanpa degassing bahan, ia adalah garis lurus yang berkadar dengan masa pada mulanya.