Beberapa Sumber Ion yang Digunakan Dalam Pelapisan

·          Beberapa sumber ion yang biasa digunakan dalam salutan

Walaupun terdapat banyak jenis sumber ion, tujuannya adalah tidak lebih daripada pembersihan secara on-line, meningkatkan pengagihan tenaga dan modulasi pada permukaan penyaduran untuk meningkatkan tenaga gas reaktif. Sumber ion dapat meningkatkan kekuatan ikatan filem dan matriks, dan kekerasan dan rintangan haus filem itu sendiri juga dapat ditingkatkan. Sekiranya lapisan tahan lenturan alat penyaduran lebih besar secara amnya dan keseragaman ketebalan filem tidak diperlukan tinggi, sumber ion dengan arus ion semasa yang lebih tinggi dan tahap tenaga yang lebih tinggi boleh digunakan, seperti sumber ion atau sumber anod ion.

Sumber ion lapisan anod adalah sama dengan prinsip sumber ion ruang. Dalam pekeliling sempit (segiempat atau pekeliling) celah medan magnet bertetulang digunakan untuk mengionkan gas kerja di bawah tindakan anod dan ke arah bahan kerja. Sumber ion lapisan anod boleh dibuat untuk menjadi sangat besar dan panjang, terutama sesuai untuk lapisan bahan kerja besar seperti kaca bangunan. Lapisan anoda ionik sumber arus ion juga besar. Tetapi aliran ion lebih berbeza dan taburan tahap tenaga terlalu luas. Secara umum digunakan untuk bahan kerja besar, kaca, pakai, bahan hiasan. Tetapi penggunaan lapisan optik canggih tidak terlalu banyak.

Sumber ion Kaufman adalah aplikasi awal sumber ion. Ia tergolong dalam sumber ion grid. Pertama, katod menghasilkan plasma di dalam ruang sumber ion, dan kemudian ion-ion itu diekstrak dari rongga plasma oleh dua atau tiga grid anod. Sumber ion jenis ini mempunyai pengetatan kuat dan jalur lebar tenaga ion pekat, yang boleh digunakan secara meluas dalam salutan vakum. Kelemahannya adalah bahawa katod (sering tungsten) terbakar dengan cepat dalam gas tindak balas, dan terdapat batasan aliran ion yang mungkin tidak selesa bagi pengguna yang memerlukan aliran ion besar.

Sumber ion Hall adalah anod dalam medan magnet paksi yang kuat di bawah kerjasama pengionan gas proses. Ketidakseimbangan kuat medan magnet paksi ini memisahkan ion gas dan membentuk rasuk ion. Kerana medan magnet paksi terlalu kuat, balok ion sumber ion perlu menambah elektron untuk meneutralkan aliran ion. Sumber peneutralan biasa ialah filamen tungsten (katod).

Ciri-ciri sumber ion Hall:

1. Mudah dan tahan lama;

2. Arus ionik hampir berkadar dengan aliran gas, dan arus ionik yang besar boleh diperolehi;

3. Filamen tungsten secara amnya mengembara keluar, dan impak pancaran ionnya cepat terhakis, terutamanya untuk gas reaktif, yang perlu diganti dalam masa 10 jam. Dan akan ada pencemaran dari filamen tungsten. Untuk menyelesaikan kecacatan wayar tungsten. Terdapat lebih banyak neutralizers hayat seperti sumber katod berongga kecil.

Sumber ion dewan adalah sumber ion yang paling banyak digunakan.

Berkenaan dengan sumber ion PVD IKS.

Jika penyaduran filem hiasan yang tahan haus, ketebalan filem, dan keperluan untuk melekat pada badan yang kuat, dan keperluan seragam tidak tinggi. Sumber ion Dewan boleh didapati. Arus ionik adalah besar dan tahap tenaga ionik adalah tinggi. Jika ia disalut dengan filem optik, keperluan utama kepekatan tenaga semasa ionik, keseragaman semasa ionik. Oleh itu, adalah lebih baik menggunakan sumber ion Kaufman atau RF, dan penggunaan ion ECR (cyclotron elektron) atau sumber ion IC (induksi gandingan). Juga, pertimbangkan bahan habis, seperti dawai halogen yang terbakar dalam gas reaksi dalam kira-kira 10 jam. Sumber-sumber ion lanjutan seperti ICP boleh bekerja secara berterusan dalam gas reaktif selama beratus-ratus jam.

Filem aluminium lampu bersalut. Oleh kerana ia adalah filem logam, tentu saja, DC magnetron sputtering adalah baik. Kelajuan pantas. Frekuensi pertengahan sesuai untuk filem kompaun pelapis. Jika anda memilih sumber ion, sumber ion ruang adalah cukup. Tetapi perhatikan saiz lampu. Secara amnya, sumber ion ruang adalah bulat, kawasan yang dilindungi oleh sumber ion adalah terhad. Anda mesti meliputi semua bahan kerja dengan balok ion. Jika sumber ion ruang biasa terlalu kecil, sumber ion lapisan ion boleh dipertimbangkan. Satu sebab sumber ion tidak bersinar adalah bahawa medan magnet terlalu lemah untuk merangsang plasma. Terdapat banyak jenis sumber ion, tetapi pada dasarnya menghasilkan plasma pertama, kemudian mengeluarkan ion gas dari plasma dan mempercepatkannya ke dalam rasuk ion, maka visi belakang menyuntikkan elektron dan aliran ion.