Masalah dan penyelesaian DLC salutan

Sifat-sifat lapisan DLC

Prestasi DLC adalah antara diamond dan grafit, yang menunjukkan kekerasan yang tinggi dan cemerlang geseran, sebagai sifat-sifat anti pelekat yang baik baik.

◆ Sifat-sifat mekanikal:

Kekerasan yang tinggi, modulus keanjalan yang tinggi, kekonduksian haba yang tinggi, pekali pengembangan haba yang rendah, kepadatan rendah, rintangan Haus sangat baik dan pekali geseran yang rendah.

◆ Sifat-sifat elektrik:

Rendah affinity elektron, resistivity elektrik tinggi rendah dielectric constant

◆ Sifat-sifat optik:

Pemindahan tinggi dalam cahaya yang boleh dilihat dan kawasan-kawasan berhampiran inframerah, jurang band optik yang rendah, indeks refractive adalah 1.7 untuk 2.4, laser tinggi kerosakan minimum.

◆ Sifat-sifat kimia: 

Biocompatibility baik, ultra tinggi inertness kimia, asid dan alkali rintangan, hydrophobicity baik.

Masalah dan penyelesaian DLC salutan

Masalah

◆ Tekanan dalaman yang tinggi

Di bawah keadaan biasa, tekanan dalaman, modulus elastik dan kekerasan lapisan adalah berkadar terus dengan antara satu sama lain, supaya lebih tinggi kekerasan lapisan, semakin besar tekanan dalaman. Filem DLC mempunyai kekerasan yang sangat tinggi, serta mengurangkan tekanan dalaman yang tinggi, yang menjadikan lekatan itu filem DLC kepada substrat tersebut, dan juga, ia menghadkan ketebalan maksimum sebuah filem yang stabil yang boleh disimpan pada substrat tersebut. Di samping itu, keseragaman ketebalan filem juga mempunyai kesan ke atas tekanan dalaman.

◆ Kestabilan haba yang miskin

DLC biasanya ialah struktur Kristal fasa metastabil. Oleh yang demikian, dalam peningkatan suhu, Salutan DLC akan graphitized, iaitu bon sp3 beralih kepada bon sp2, hasilnya, struktur dan prestasi lapisan DLC akan ditukar.

Penyelesaian

◆ Filem multilayer

Pemendapan filem multilayer Ti/TiC/DLC dan Ti/TiN/TiCN/DLC pada substrat tersebut boleh mengurangkan tekanan dalaman antara lapisan DLC dan substrat tersebut.

◆ Filem kecerunan

Kecerunan Deposit peralihan lapisan TK/CrN/CrNC/CrC/Cr-DLC dan Ti/TiN/TiCN/TiC/Ti-DLC oleh ion sumber dan sputtering teknologi pemendapan pada substrat tersebut boleh melepaskan tekanan dengan berkesan dan berkesan meningkatkan kekuatan hubungan di antara lapisan dan substrat tersebut.

◆ Kes dadah

Doping bebas logam (N, B, Si) boleh mengurangkan tekanan dalaman DLC salutan dan meningkatkan kestabilan haba. Dan doping logam (Cr, Ti, W) boleh meningkatkan kekerasan memakai rintangan DLC salutan dan mengurangkan dengan pekali geseran.