PECVD-Kekerapan Operasi Bekalan Kuasa RF

Rf PECVD biasanya menggunakan bekalan kuasa RF jalur frekuensi 50kHz~13.56MHz, yang mempunyai frekuensi tinggi, kesan pengeboman kuat ion dalam plasma, filem termendap yang lebih padat, tetapi kerosakan pada substrat juga agak besar. Keseragaman filem dengan pemendapan frekuensi tinggi adalah jauh lebih baik daripada frekuensi rendah, kerana apabila frekuensi bekalan kuasa RF rendah, medan elektrik berhampiran pinggir plat lemah, dan kelajuan pemendapan akan lebih rendah daripada kawasan tengah plat, dan perbezaan antara tepi dan kawasan tengah akan menjadi lebih kecil apabila frekuensi tinggi.

Syarikat IKS PVD, mesin salutan hiasan, mesin salutan alat, mesin salutan DLC, mesin salutan optik, talian salutan vakum PVD, projek kunci-kunci tersedia. Hubungi kami sekarang, E-mel: iks.pvd@foxmail.com