Faktor yang mempengaruhi kualiti proses PECVD terutamanya termasuk aspek berikut
Jul 06, 2023| Dua faktor harus dipertimbangkan dalam pemilihan jarak pad dalam rongga PECVD:
(1) Voltan pencahayaan: Pemilihan jarak harus menjadikan voltan pencahayaan serendah mungkin untuk mengurangkan potensi plasma dan mengurangkan kerosakan pada substrat.
(2) jarak plat dan tekanan udara rongga: apabila jarak plat besar, kerosakan pada substrat adalah kecil, tetapi jarak tidak boleh terlalu besar, jika tidak, ia akan meningkatkan kesan pinggir medan elektrik dan menjejaskan keseragaman pemendapan. Saiz ruang tindak balas boleh meningkatkan produktiviti, tetapi ia juga mempunyai kesan ke atas keseragaman ketebalan.
Syarikat IKS PVD, mesin salutan hiasan, mesin salutan alat, mesin salutan DLC, mesin salutan optik, talian salutan vakum PVD, projek kunci-kunci tersedia. Hubungi kami sekarang, E-mel: iks.pvd@foxmail.com
