Masalah biasa peralatan PECVD-Tekanan ruang tindak balas tidak stabil

Masalah biasa peralatan PECVD-Tekanan ruang tindak balas tidak stabil

(1) Periksa sama ada belos sistem vakum peralatan mempunyai retak.

(2) Periksa sama ada meter aliran gas adalah normal.

(3) Periksa secara manual sama ada suis injap rama-rama adalah normal.

(4) Pam vakum tidak normal, dan tolok vakum digunakan untuk mengukur sama ada kelajuan mengepam pam vakum adalah normal.

Syarikat IKS PVD, mesin salutan hiasan, mesin salutan alat, mesin salutan DLC, mesin salutan optik, talian salutan vakum PVD, projek kunci-kunci tersedia. Hubungi kami sekarang, E-mel: iks.pvd@foxmail.com