Ion penyaduran

Prinsip penyaduran Ion

Ion penyaduran merujuk kepada menggunakan pelepasan gas untuk ionize gas atau bahan-bahan asapnya keadaan vakum. Penyejatan bahan atau deposit reactants mereka pada bahan kerja di bawah tindakan pengeboman ion ion-ion gas atau bahan-bahan asapnya. Penyaduran ion boleh dibahagikan magnetron sputtering ion penyaduran, ion reaktif penyaduran, hollow penyaduran ion pelepasan katod (hollow katod penyejatan), penyaduran ion berbilang arc (katod arc ion penyaduran) dan sebagainya. Ion penyaduran menggabungkan pelepasan cahaya, plasma teknologi dan teknologi vakum penyejatan, yang bukan sahaja mempertingkatkan dengan ketara prestasi lapisan, tetapi juga sangat meluaskan penggunaan teknologi lapisan. Selain itu kelebihan vakum sputtering, ia juga mempunyai kelebihan lekat kuat filem, baik diffraction, pelbagai jenis bahan-bahan yang boleh saduran dan sebagainya. Prinsip asas penyaduran ion dijangka ionize wap logam atau aloi melalui cahaya atau arc merupakan pelepasan gas inert untuk. Ion penyaduran termasuk proses Pemanasan, penyejatan dan pemendapan bahan-bahan salutan (seperti TiN dan TiC). Evaporated salutan bahan atom menjalani sedikit pengionan apabila melewati rantau cahaya, dan terbang ke bahan kerja di bawah tindakan bidang elektrik, ia menyerang permukaan bahan kerja dengan tenaga beberapa ribu volt elektron, dan boleh disuntik ke dalam substrat sedalam kira-kira beberapa nanometers. Oleh itu, tentera mengikat lapisan bertambah baik, dan yang bebas-terion asapnya deposit atom bahan langsung pada bahan kerja. Sputtering ion-ion inert gas dan ion-ion bahan lapisan atas permukaan bahan kerja juga boleh membuang bahan cemar untuk meningkatkan daya ikatan.

Kelebihan penyaduran Ion

1. kuat diffraction keupayaan

Dalam proses penyaduran ion, zarah bahan evaporating bergerak ke arah talian kuasa dalam bentuk ion-ion yang dikenakan dalam bidang elektrik. Oleh yang demikian, mana-mana bahagian di mana terdapat satu medan elektrik boleh mendapatkan lapisan penyaduran baik, yang lebih berkuasa lapisan vakum biasa mendapatkan penyaduran ke arah langsung. Jadi, kaedah ini adalah sangat sesuai untuk lapisan terakhir dalam lubang, alur dan slot sempit di bahagian-bahagian yang bersalut. Kaedah biasa salutan vakum hanya boleh permukaan langsung tidak bersalut. Zarah-zarah penyejatan sahaja akan dipindahkan seperti mendaki tangga. Tetapi penyaduran ion sekata boleh kot belakang dan lubang-lubang yang dalam bahagian-bahagian. Ion yang dikenakan adalah mampu terbang di sepanjang laluan yang ditetapkan di mana-mana dalam radius mereka aktiviti seperti duduk di atas helikopter-helikopter.

2. lapisan berkualiti

Lapisan bersalut ion adalah tebal, cahaya selamat percuma, gelembung percuma, dan seragam ketebalan. Walaupun aspek dan alur boleh menjadi saduran sekata tanpa Metalurgi. Bahagian-bahagian seperti benang juga boleh saduran. Kaedah ini juga boleh memperbaiki kecacatan seperti minit retak dan lubang di permukaan bahan kerja yang berkesan boleh meningkatkan kualiti permukaan dan sifat-sifat fizikal dan mekanikal bahagian-bahagian yang menjadi saduran. Keletihan ujian menunjukkan bahawa jika dikendalikan dengan betul, hayat lesu bahan kerja boleh menjadi 20% ~ 30% lebih tinggi daripada sebelum penyaduran.

3. ion penyaduran proses pembersihan ringkas

Kebanyakan proses salutan yang sedia ada memerlukan ketat pembersihan bahan kerja terlebih dahulu, yang rumit dan mahal. Walau bagaimanapun, pengeboman ion yang kering kesan mempunyai ion penyaduran proses itu sendiri, dan kesan ini berterusan sepanjang proses seluruh lapisan. Kesan pembersihan yang sangat baik, dan penyaduran yang boleh terus dibawa hampir substrat, yang berkesan meningkatkan lekatan itu dan memudahkan jumlah besar penyaduran sebelum kerja-kerja pembersihan.

4. pelbagai jenis bahan boleh saduran

Ion penyaduran kaedah menggunakan ion-ion yang bertenaga tinggi untuk membedil permukaan bahan kerja, supaya sejumlah besar tenaga elektrik ditukar kepada tenaga haba di permukaan bahan kerja, justeru itu menggalakkan percambahan tindak balas kimia permukaan tisu. Walau bagaimanapun, keseluruhan bahan kerja, terutama teras bahan kerja tidak terjejas oleh suhu yang tinggi. Oleh itu, proses salutan ini mempunyai pelbagai jenis aplikasi dan kurang terhad. Secara umumnya, pelbagai logam, aloi dan bahan-bahan tertentu sintetik, penebat bahan-bahan, bahan-bahan yang sensitif-haba dan bahan-bahan high-lebur-point boleh menjadi saduran. Ia boleh plat bukan logam atau logam pada logam workpieces, atau logam atau bukan logam pada bahan kerja bukan logam, dan walaupun pada plastik, getah, kuarza, seramik, dan sebagainya.