Pengaruh Parameter Proses Sputtering Magnetron: Suhu Pemendapan

Pengaruh parameter proses sputtering magnetron: suhu pemendapan

Suhu pemendapan juga mempengaruhi sifat mekanikal salutan kuaterner (Cr,Ti,Al) N. Lin Jing et al. menggunakan teknik pemendapan komposit penyaduran magnetron DC berdenyut dan penyaduran ion arka untuk menyediakan (Cr, Ti, Al) N salutan kuaternari pada 300 darjah dan 400 darjah masing-masing [62]. Keputusan eksperimen menunjukkan bahawa salutan (Cr,Ti,Al) N yang disediakan pada 400 darjah mempamerkan sifat mekanikal dan rintangan haus yang lebih baik daripada yang disediakan pada 300 darjah . Dengan peningkatan suhu pemendapan, keupayaan resapan atom dipertingkatkan, salutan lebih tumpat, dan tindak balas nitrida lebih mencukupi, jadi kekerasan salutan (Cr, Ti, Al) N meningkat dengan banyak. Keputusan eksperimen juga menunjukkan bahawa dengan peningkatan suhu pemendapan, pekali geseran dan kadar haus salutan dikurangkan, dan hayat pemotongan alat salutan meningkat. Ini kerana kekerasan salutan meningkat dengan peningkatan suhu pemendapan. Menurut teori Archard, faktor geseran salutan adalah berkadar songsang dengan kekerasan, jadi faktor geseran salutan dikurangkan. Di samping itu, apabila suhu pemendapan tinggi, salutan mempunyai rintangan yang lebih kuat terhadap ubah bentuk elastik dan ubah bentuk plastik, dan rintangan yang lebih baik terhadap kerosakan, jadi ia tidak mudah retak semasa proses geseran, yang kondusif untuk mengurangkan kadar haus salutan. Salutan yang disediakan pada 400 darjah mempunyai kekerasan dan keliatan yang lebih tinggi, dan faktor geseran yang lebih rendah, yang kondusif untuk memanjangkan hayat pemotongan alat.

Syarikat IKS PVD, mesin salutan hiasan, mesin salutan alat, mesin salutan DLC, mesin salutan optik, talian salutan vakum PVD, projek kunci-kunci tersedia. Hubungi kami sekarang, E-mel: iks.pvd@foxmail.com