Kesan Proses Pembuatan Salutan PVD Pada Ketebalan Salutan

Perkara yang paling penting dalam proses salutan PVD adalah kaedah penjepit, yang akan menentukan ketebalan dan keseragaman salutan. Dan tidak ada keraguan bahawa ketebalan lapisan mempengaruhi hayat perkhidmatannya. Walau bagaimanapun, ia bukan tebal lapisan, lebih baik jangka hayatnya. Pada bahan kerja yang sama, aplikasi berbeza memerlukan ketebalan yang berlainan. Dan bahan kerja yang berbeza juga memerlukan ketebalan yang berlainan. Oleh itu, kawalan ketebalan salutan adalah penting.

Ketebalan lapisan biasanya ditentukan oleh prosedur salutan. Prosedur tertentu mempunyai ketebalan salutan tertentu, dan ketebalan salutan berbeza-beza dalam julat ini. Walau bagaimanapun, kaedah penjepit bahan kerja juga sangat mempengaruhi ketebalan lapisan. Di bawah penjepit yang tidak betul, ketebalan salutan akan melebihi julat yang ditetapkan oleh program.

Dimensi putaran bahan kerja mempengaruhi ketebalan salutan. Bahan kerja mesti diputar di dalam ruang semasa disalut. Terdapat tiga cara putaran bahan kerja: putaran dimensi tunggal, putaran dua dimensi dan putaran tiga dimensi. Untuk prosedur salutan yang sama, dimensi lebih putaran, salutan yang lebih nipis. Ketebalan lapisan spin dua dimensi adalah kira-kira 5 kali ketebalan lapisan spin tiga dimensi, dan ketebalan lapisan spin satu dimensi adalah kira-kira 1.5 kali ketebalan lapisan spin dua dimensi. Dengan menganggap ketebalan salutan berputar tiga dimensi adalah 2um, dan kemudian ketebalan lapisan bahan kerja berputar dua dimensi adalah kira-kira 3um, manakala ketebalan lapisan spin putaran satu dimensi dapat mencapai 4.5um atau lebih.

Apabila mengunci bahan kerja, ketumpatan bahan kerja juga mempengaruhi ketebalan salutan. Ketebalan lapisan bahan kerja di mana dikepit secara intensif adalah kecil, dan ketebalan lapisan bahan kerja di mana dikepit jarang jarang.

Angka di atas menunjukkan pengagihan ketebalan salutan pada satu hob. Angka di bawah menunjukkan pengagihan ketebalan salutan pada kedudukan yang berbeza dari gerudi.

Oleh itu, dapat dilihat bahawa ketebalan bahagian-bahagian yang berlainan alat itu sangat dipengaruhi oleh pengikatan, jadi kita harus menentukan metode penjepit berdasarkan pengalaman.