Sejarah Pembangunan Sejarah Pembangunan Pam Molekul
May 23, 2018| 1. Pam Molekul Awal
Pada tahun 1912, seorang Jerman bernama W.Gaede mencipta pam molekul pertama di dunia, diameter rotornya adalah 50mm, dan terdapat 8 slot dalam saiz yang berbeza pada rotor. Kelajuan pusing adalah 12,000r / min, dan kelajuan pam kira-kira 1.5L / s. Prinsip kerja pam awal ini adalah sama dengan pam molekul moden, tetapi ia cepat dihapuskan kerana banyak kegagalan sehingga tidak dipopulerkan.
Pada tahun 1926, M. Siegbahn mengembangkan pam molekul jenis cakera di makmal universiti di Sweden. Strukturnya mirip dengan pam molekul jenis drag moden. Badan pam mempunyai alur spiral dan pemutar adalah cakera. Pada tahun 1939, LE BOLD menghasilkan dua pam dengan diameter 540mm. Dimensi alur adalah 22mm x 22mm di dalam dan 22mm x 1mm di luar. Kelajuan putaran ialah 3,700r / min dan kelajuan pam adalah 73L / s.
Pam molekul awal adalah semua pam molekul jenis daya tarikan. Dengan kekurangan jumlah besar, kelajuan mengepam rendah, jurang kecil, dan banyak kesalahan, ia tertakluk kepada banyak sekatan dalam aplikasi, dan oleh itu ia hanya boleh digunakan dalam beberapa bidang khas dan tidak dipopulerkan.
2. Kelahiran Pam Turbomolekul
Pada tahun 1957, W. Becker dari PFEIFFER GmbH di Jerman mencipta pam molekul baru, yang dinamakan pam turbomolekul. Struktur mendatar dan rongga pam dilengkapi dengan bilah bilah dinamik dan statik. Gas masuk melalui port pengambilan di pusat pam dan mengalir melalui saluran sedutan ke kedua-dua belah badan pam. Udara termampat dibebaskan oleh pelabuhan ekzos selepas dimampatkan oleh pelbagai daun. Pemutar pam turbomolekul ini terdiri daripada 19 baris bilah. Seperti yang ditunjukkan dalam Rajah 2, diameternya ialah 170mm, kelajuan putaran adalah 16,000r / min, dan kelajuan pam adalah 140L / s.
Pada tahun 1966, SENCMA Corporation di Perancis membangunkan 14 pam bilah turbomolekul menegak, diameter pemutar adalah 286mm, kelajuan putaran adalah 12,000r / min, dan kelajuan pam adalah 650L / s, yang menghasilkan perintis pam turbomolekul menegak.
Terdapat banyak pengeluar pam molekul di Jepun dengan kemampuan yang kuat untuk mereka bentuk dan menghasilkan pam molekul. Pada tahun 1971, Institut Penyelidikan Fizikal dan Kimia Jepun telah berjaya menghasilkan 13 pam molekular berputar bilah berputar dan 12 molekul pam pemutar rotor pegun, diameter pemutar adalah 300 mm dan kelajuan berputar adalah 12,000 r / min. Pada tahun 1990, Osaka Vacuum Company Jepun pertama kali berjaya mengembangkan pam molekul berskala besar dengan kelajuan mengepam 25,000 L / s.
Pada masa ini, struktur asas pam molekul moden adalah mendatar dan menegak. Pam molekular mendatar mempunyai kelebihan daya seragam rotor, kedudukan daya kedudukan galas yang baik, hayat perkhidmatan yang panjang, kedudukan pemutar pegun semasa penggantian galas, dan penyelenggaraan mudah. Tetapi proses perhimpunan pam molekul menegak adalah lebih mudah daripada pam molekular mendatar, jadi kelajuan pembangunan pam molekul menegak dalam beberapa tahun kebelakangan ini sangat cepat.
3. Pam Molekul Moden
Sejak kelahiran pam molekul, terdapat sejarah hampir seratus tahun. Dengan kemajuan berterusan pelbagai sains dan teknologi, teknologi pam molekul juga telah membuat banyak inovasi dan penemuan. Pam molekul moden lebih pintar, fleksibel, dan cekap.
Dalam tahun-tahun kebelakangan ini, dengan perkembangan pesat teori kawalan dan teknologi komputer dan digunakan untuk pam molekul, pam molekul telah dikawal oleh komputer, dan menyedari kawalan jauh pam. Pada masa yang sama, berdasarkan teknologi maklumat, sistem keselamatan dan pemantauan telah membawa kepada pembangunan pam molekul ke arah kecerdasan.
Kelajuan pam adalah parameter teras pam molekul. Meningkatkan kelajuan putaran adalah salah satu cara yang paling langsung untuk meningkatkan kelajuan pam. Dengan perkembangan teknologi mengimbangi dinamik, pemutar pam molekul dapat lancar beroperasi pada kelajuan ultra tinggi. Dan dengan perkembangan sains bahan, bahan rotor pam molekul juga berubah, ia boleh dibuat dari aloi aluminium yang keras, serat karbon, aloi titanium dan bahan kekerasan tinggi yang lain, yang meningkatkan kelajuan rotor putaran.
Dalam tahun-tahun kebelakangan ini, dengan pembangunan industri semikonduktor, pam molekul diperlukan untuk terus mengeluarkan sejumlah besar gas dalam persekitaran tekanan tinggi dan memastikan vakum bersih dalam banyak kes. Prestasi pam turbomolekul tradisional dalam persekitaran ini telah banyak menurun dan sukar untuk menjamin keputusan reka bentuk. Untuk membuat pam molekul menyesuaikan diri dengan persekitaran kerja tekanan tinggi, bahagian pam molekul daya tarikan ditambah pada pam molekul turbo asal, dan pam molekul turbo dan pam molekul trailing disambung secara siri untuk membentuk pam molekul komposit ( seperti yang ditunjukkan dalam Rajah 3) dengan kelebihan kedua-dua pam molekul turbo dan pam molekul trailing.
Di samping itu, beberapa jenis pam molekul baru telah muncul dalam beberapa tahun kebelakangan ini, seperti pam molekul suhu rendah yang boleh dengan berkesan mengekstrak molekul air, pam molekul seramik yang boleh beroperasi di bawah medan magnet yang kuat dan keadaan kakisan yang kuat, dan pam molekul suspensi magnetik dengan kelebihan sokongan tanpa sentuh, kecekapan tinggi dan kehidupan yang tinggi.