Ciri-ciri dan pengelasan Ultra tinggi unit vakum

Characteristics dan klasifikasi ultra tinggi unit vakum

IKS PVD, PVD vakum salutan Mesin pengilangan, hubungi kami sekarang, iks.pvd@foxmail.com, untuk mengetahui lebih lanjut tentang Mesin salutan.

Unit vakum ultra tinggi bekerja lebih daripada 10^-5PA mempunyai penyebaran pam, unit vakum ultra-Quality pam molekul dan minyak tanpa ultra-Quality kekosongan unit. Unit ini mempunyai ciri-ciri berikut:

1. tinggi tahap vakum tertinggi pam utama, 10^-7~ 10^-8PA di atas;

2.Boleh menahan suhu tinggi 200 ~ 450℃penaik;

3.Tekanan separa gas backflow di pam utama adalah sangat rendah;

4. untuk selektiviti gas dipam pam utama, perlu dilengkapi dengan yang besar cukup pam bantuan;

5. keperluan vakum chamber, paip, injap dan lain-lain komponen daripada kadar pengeluaran bahan adalah sangat rendah, kadar kebocoran yang amat kecil.

(1) penyebaran mengepam ultra tinggi unit vakum

Penyebaran pam seperti pam keutamaan di dalam unit vakum yang muktamad, ultra tinggi tahap vakum adalah 10-7 ~ 10-8 pa.

Untuk mengurangkan daripada penyebaran pam sebelum tahap penyebaran gas dan menyekat minyak pam mekanikal anti kesan penyebaran vakum yang muktamad, tetapi di hadapan penyebaran tahap pam taip kecil kelajuan pam pam penyebaran, mengurangkan nisbah mampatan , mengurangkan penyebaran seperti inlet pam penyebaran, sublimasi titanium menambah baik di atas boleh mengurangkan lagi tekanan separa nitrogen dari pam penyebaran, boleh mendapatkan 10 hingga 11 pa ultra tinggi vakum.

(2) unit vakum tinggi ultra pam molekul

Unit vakum ultra tinggi dengan molekul pam seperti pam utama mempunyai tahap vakum maksimum 10-8pa, yang dicirikan oleh permulaan puasa dan pencemaran minyak kecil. Selain itu, cecair nitrogen sejuk juga boleh ditambah kepada unit untuk meningkatkan kelajuan pam. Air sejuk juga boleh diatur pada salur pam mekanikal untuk mengelakkan wap minyak daripada memasuki sistem.

(3) minyak percuma ultra tinggi vakum unit

Unit vakum yang tidak menggunakan minyak sebagai cecair bekerja dan tidak dimeterai dengan bahan organik dikenali sebagai pam utama yang biasanya digunakan dalam minyak tanpa ultra-Quality kekosongan unit, seperti cryogenic pam, pam titanium, sputtering ion pam, dll, yang boleh mendapatkan muktamad vakum Ijazah 10^-7~ 10^-8PA. Berbanding dengan unit vakum yang mengandungi minyak, ia mempunyai kelebihan berikut:

1) bersih vakum tanpa punca-punca pencemaran boleh diperolehi;

2) apabila pam vakum tanpa minyak dimulakan, pam mengepam pra boleh terasing;

3) jika mengepam yang berhenti secara tiba-tiba, sistem tidak akan tercemar;

4) tiada minyak, tiada getaran, memperbaiki persekitaran kerja;

5) had tinggi vakum, pam tinggi kelajuan, jarak masa mengepam.