Analisis Keupayaan Menjalankan Kekuatan Target Sputtering Magnetron
May 24, 2018| 1. Kawasan sasaran dan julat kuasa beban
(1) Ketumpatan kuasa sasaran magnetron planar bulat biasanya 1 ~ 25w / cm2
(2) Ketumpatan kuasa target magnetron planar segi empat tepat adalah 1 ~ 36w / cm 2
(3) Ketumpatan kuasa sasaran magnetron kolumnar dan sasaran magnetron planar berbentuk kon (S gun) biasanya 40 ~ 50w / cm 2 .
2. Kuasa dibawa sebenar sasaran magnetron
Sebagai tambahan kepada teknologi sputtering dan keperluan kualiti filem, kekuatan bantalan sebenar sasaran magnetron juga berkait rapat dengan keadaan penyejukan dan keadaan pelesapan haba sasaran.
Sasaran Magnetron boleh dibahagikan kepada dua jenis "sasaran penyejukan air langsung" dan "sasaran penyejukan air tidak langsung" berdasarkan kaedah penyejukan.
Memandangkan penuaan sasaran selepas penggunaan jangka panjang menjadikan keadaan pelesapan habanya buruk, dan mengambil kira pekali pemindahan haba yang berlainan bahan sasaran yang berlainan, kuasa muatan utama sasaran magnetron dan kuasa maksimum sebenar penyejukan air langsung boleh ditetapkan kurang daripada had atas julat ketumpatan kuasa. Dan beban maksimum sebenar penyejukan air tidak langsung boleh ditetapkan kira-kira separuh daripada had atas kepadatan daya.
Apabila magnetron mensasarkan (terutamanya Cu, Ag, Brass, dan Al Gangsa) "sputtering diri", ia biasanya menggunakan sasaran magnetron sputtering yang direka khusus untuk "mengarahkan air sejuk". Kuasa membawa muktamad untuk penggunaan mestilah lebih besar daripada had atas sasaran ketumpatan kuasa sasaran.