Apakah proses khusus untuk membina ' luminance ' dalam prinsip magnetron, bagaimana Ar gas dimetabolized
Apr 22, 2020| Apakah proses khusus untuk membina ' luminance ' dalam prinsip magnetron? Bagaimanakah Ar gas ionized?
Di bawah tindakan voltan yang digunakan antara elektrod positif dan negatif, atom gas antara elektrod akan menjadi ionized. Dalam proses pengionan, sesetengah pengatoms adalah terion kepada Ar + ion dan elektron. Elektron ini dipercepatkan ke arah katod oleh medan elektrik, dan yang positif dicaj Ar + ion ke arah sasaran katod di bawah tindakan medan elektrik, dan melepaskan tenaga yang sepadan dalam perlanggaran dengan permukaan sasaran. Salah satu keputusan kesan ion dengan tenaga tertentu pada target adalah bahawa atom pada permukaan sasaran mendapat tenaga tertentu dan meninggalkan permukaan sasaran untuk bergerak ke arah substrat. Dalam proses sputuran, terdapat zarah-partikel lain, termasuk pelepasan dari katod.
Ini adalah pelepasan gas, dan voltan biasanya di dalam kilovolts atas. Tetapi magnetron sputuran adalah berbeza,
Semasa magnetron sputuran, terdapat medan magnet di permukaan sasaran, jadi elektron boleh terikat di sekitar target tanpa hilang, membentuk fenomena pelepasan sendiri, dan voltan secara semulajadi berkurangan kepada beberapa ratus volts. Semasa pelepasan diri yang mampu milik sendiri, kebanyakan pengionan yang disebabkan oleh pengeboman elektron bebas.
e-+ Ar → Ar + + 2E-
Jika anda menarik jenis salutan perlindungan alam sekitar, hubungi kami sekarang, e-mel:iks.pvd@foxmail.com,maklumat lanjut mengenai pengeluaran Mesin salutan vakum (PVD)IKS (Shenyang) Sdn Bhd