Apakah lima langkah tindak balas CVD
Jul 20, 2020| Apakah lima langkah tindak balas CVD?
(1) Pra-reaktan komponen yang berbeza dalam fasa gas masuk dari gas arus utama dan memindahkan permukaan substrat dengan mekanisme penyebaran. Sebaik-baiknya, kepekatan prekursor pada substrat adalah sifar, yang bermaksud bahawa substrat bertindak balas dengan segera, yang tidak berlaku.
(2) Pra-reaktan diserap pada substrat, dan pra-reaktan masih diizinkan untuk melakukan pergerakan permukaan permukaan lateral yang terbatas pada substrat.
(3) Prekursor mengalami reaksi kimia pada substrat untuk menghasilkan molekul kimia dalam sedimen, dan kemudian, setelah pengumpulan, inti, migrasi, pertumbuhan dan langkah-langkah lain, selaput berterusan akhirnya digabungkan.
(4) Menyerap lebihan produk-produk prekursor dan gas yang tidak bertenaga.
(5) Gas yang diserap dikirim ke fasa gas utama dengan mekanisme penyebaran, dan dibuang setelah pengiriman.
Syarikat PVD IKS, mesin pelapis hiasan, mesin pelapisan alat, mesin pelapis optik, garisan cetakan vakum PVD. Hubungi kami sekarang, E-mel: iks.pvd@foxmail.com