Set pam vakum ultra tinggi
Oct 13, 2023| Set pam vakum ultra tinggi
Unit vakum ultra-tinggi berfungsi dalam julat tekanan vakum ultra-tinggi 10-6 ~ 10-10Pa, sebagai tambahan kepada keperluan bahawa bahan ruang vakum mempunyai kadar keluaran gas yang sangat rendah, a kadar kebocoran gas yang sangat kecil, dan boleh menahan 200 ~ 450 darjah pembakar suhu tinggi, keperluan untuk unit juga termasuk:
(1) tahap vakum muktamad pam utama hendaklah tinggi, sekurang-kurangnya 10-7 ~ 10-8Pa di atas;
(2) Pam utama mempunyai kelajuan mengepam tertentu dalam julat tekanan kerja vakum ultra tinggi;
(3) Pam utama unit atau bahagian di atas pengambilan udara pam utama boleh menahan penaik suhu tinggi 200 ~ 450 darjah;
(4) Tekanan separa gas aliran balik (termasuk wap cecair yang berfungsi dan gas yang diselesaikan) ke pam autonomi hendaklah cukup rendah;
(5) Pam utama dengan selektiviti kuat gas yang dipam hendaklah dilengkapi dengan pam tambahan yang cukup besar;
(6) Paip, injap dan komponen lain di atas pelabuhan pengambilan pam utama unit, pemilihan dan pengedap bahan haruslah berhati-hati. Secara amnya, keluli tahan karat dengan kadar keluaran gas rendah dan struktur pengedap logam dan bahan pengedap digunakan.
Syarikat IKS PVD, mesin salutan hiasan, mesin salutan alat, mesin salutan DLC, mesin salutan optik, talian salutan vakum PVD, projek kunci-kunci tersedia. Hubungi kami sekarang, E-mel: iks.pvd@foxmail.com