Keperluan Pengesanan Kebocoran Vakum Dan Sumber Gas Yang Mempengaruhi Sistem Vacuum

Sistem vakum diperlukan untuk mendapatkan dan mengekalkan keadaan vakum. Sekiranya terdapat kebocoran udara yang serius, ia adalah kecacatan utama sistem. Oleh itu, pengesanan kebocoran vakum yang relevan diperlukan.

Breathability dan bocor adalah berbeza. Breathability adalah proses penyusupan gas, penyebaran, laluan dan melarikan diri dari sisi dengan kepadatan tinggi ke sisi dengan kepadatan yang kecil. Mana-mana bahan mempunyai kebolehtelapan tertentu. Kebocoran adalah fenomena di mana molekul gas mengalir dari bahagian tekanan tinggi ke bahagian tekanan rendah disebabkan oleh kecacatan dalam bahan itu sendiri atau bahagian pengedap miskin. Dalam kes lain, kebocoran tidak berlaku pada suhu bilik, tetapi perbezaan pekali pengembangan haba pada masa perubahan suhu juga boleh menyebabkan kebocoran. Rajah 1 adalah gambarajah skematik sumber gas yang mempengaruhi sistem vakum.

Gambarajah skematik sumber gas yang menjejaskan sistem vakum

Sebenarnya, mana-mana sistem vakum mempunyai kebocoran udara, dan kebocoran udara adalah mutlak. Kadar kebocoran tertentu boleh diterima untuk sistem vakum yang berbeza. Untuk teknologi vakum semasa, kadar kebocoran yang dibenarkan bagi sistem vakum ultra tinggi ialah ≤ 1.33 × 10 ^-11 Pa.m ³ / s.

Pengesanan kebocoran vakum telah menjadi sebahagian daripada pengeluaran dan penggunaan sistem vakum. Kaedah pengesanan kebocoran vakum berubah-ubah, dan kaedah yang paling mewakili ialah pengesanan kebocoran spektrometer jisim helium dan analisis gas sisa spektrometer kuadrupol.