Pam ion tersumbat - Set pam sublimation Titanium
Aug 31, 2021| Pam ion tersumbat - Set pam sublimation Titanium
1.Vakum ruang 2. Injap pintu vakum ultra tinggi 3. Pam ion yang bertaburan - Pam sublimation Titanium menetapkan 4. Injap pintu vakum ultra tinggi 5. Perangkap sejuk 6. Pam diffusion 7. Injap pelepasan 10. Pam vakum mekanikal
FIG. 2 Gabungan sistem vakum ultra tinggi
Rajah 2 menunjukkan satu lagi jenis gabungan sistem vakum ultra tinggi. Sistem ini adalahSesuaiuntuk relau vakum, relau cip tantalum, dan peralatan lain. Pam utama sistem adalah pam ion yang mengalir dan set pam sublimation titanium. Vakum had ruang vakum boleh mencapai 5×10-7Pa. Sistem ini dilengkapi dengan unit yang terdiri daripada pam diffusi minyak dan pam mekanikal, yang digunakan untuk mengepam mentah dan pam pra-pam sebagai pam utama dan pada masa yang sama boleh mengepam sejumlah besar gas yang dikeluarkan semasa proses.
Syarikat PVD IKS, mesin salutan hiasan, mesin salutan alat, mesin salutan optik, talian salutan vakum PVD, projek turn-key tersedia. Hubungi kami sekarang, E-mel:iks.pvd@foxmail.com