Ketebalan salutan PVD dan pemeriksaan
Dec 15, 2018| Ketebalan salutan PVD dan pemeriksaan
IKS PVD, PVD vakum salutan pembuatan Mesin dari china, hubungi kami sekarang, iks.pvd@foxmail.com
Ketebalan salutan merujuk kepada permukaan luar lapisan dan jarak ke permukaan substrat di bawah lapisan pada umumnya dalam 0 ~ 15um, Terdapat banyak kaedah pengesanan, memperkenalkan perkara-perkara berikut semasa penggunaan kaedah yang lebih biasa: cross Seksyen kaedah, kaedah spherical mark dan kaedah bukan-musnah pengesanan.
1. kaedah Seksyen
Seksyen kaedah adalah satu kaedah pengesanan musnah, bahan kerja tidak boleh digunakan lagi. Ia akan menguji bahan kerja atau sampel di sepanjang bahagian salutan dipotong, di bawah mikroskop 1000 ~ 10000 kali lebih besar bagi ukuran lebih besar faktor pembesaran lebih kecil kesan faktor manusia, semakin tinggi ketepatan. Sempadan di antara lapisan dan substrat tersebut adalah sangat jelas dan ia begitu mudah untuk mengukur mengikut skala dalam sem. Jarak antara pemerintah yang bermula dan berakhir mata ialah ketebalan lapisan. Sama ada pengukuran adalah tepat atau tidak adalah untuk menilai sempadan di antara lapisan dan substrat tersebut dengan betul, jika tidak, ia akan membawa kesilapan. Jika muka antara lapisan dan substrat yang kabur, amatlah digalakkan untuk tidak menggunakan kaedah pengukuran ini. Secara amnya, kaedah pengukuran ini adalah tepat dan intuitif. Di samping itu, apabila kaedah ini digunakan untuk mengukur, ia adalah lebih baik untuk mematuhi bahagian yang agak rata. Jika tidak, manual pemprosesan perlu dijalankan agar bahagian walaupun untuk pemerhatian dan pengukuran.
Cermin kelapa juga boleh digunakan untuk mematuhi bahagian salutan untuk pengukuran. Sampel dipotong diletakkan dalam plastik serbuk untuk menekan, pembakaran dan membentuk ke blok sampel, dan kemudian permukaan diuji ini diasah dan permukaan diuji adalah diasah dan cerun. Dalam pengukuran, udara yang dipam dari minyak dikira antara kanta objektif dan permukaan diukur untuk mengurangkan gangguan.
2. Bola-kawah
Bola mark kaedah adalah untuk menggunakan diameter bebola keluli tertentu pada permukaan lapisan mengisar, salutan dan matriks pengisaran keluar sebuah lubang, bola pengisaran instrumen bahagian untuk arc untuk. Syarat-syarat operasi pengisar yang sama seperti ujian tanda bola, yang mengukur lekat kepada lapisan. Selepas bola mengisar, imej yang diperhatikan di bawah mikroskop melalui sistem pengimejan dan di bawah monitor.
Penampilan bahan kerja akan dirosakkan oleh kaedah mark bola. Jika titik pengesanan tidak di kawasan itu berfungsi, ia biasanya tidak akan menjejaskan penggunaan yang. Walau bagaimanapun, bagi mengelakkan kesilapan, ianya perlu berbincang dengan dan mendapatkan keizinan daripada pemilik artifak sebelum ujian dengan kaedah ini.
3. testing(NDT) bukan-musnah
Kaedah ujian tanpa musnah adalah untuk mengesan ketebalan salutan pada bahan kerja tanpa merosakkan bahan kerja. Terdapat banyak jenis kaedah NDT, secara amnya, ujian tanpa musnah perlu untuk menyediakan dalam substrat dan komposisi salutan, atau menyediakan kepingan sampel salutan untuk menganalisis data ukur rujuk, dalam ujian, akan dikira dan lapisan komposisi komposisi Bandingkan dengan blok induk sampel untuk menyimpulkan teori ketebalan lapisan, jadi, untuk berbeza substrat dan lapisan analisis komposisi, membuat ukuran atur cara, dan kemudiannya ke ukuran sebenar. Sudah tentu, sesetengah instrumen boleh diukur secara langsung tanpa membuat blok sampel, tetapi kesalahan yang besar. Seksyen ini terutamanya memperkenalkan X-ray ini menghindarkan kalajengking dari (XRF).
Instrumen XRF terutamanya terdiri daripada X-ray excitation sumber dan pengesanan sistem. Tiub sinar X menghasilkan sinar X-ray yang berasaskan) (sinaran atau bahan kerja yang melanda akan diukur, setiap elemen bahan kerja akan diukur adalah bermotivasi, sekunder sinaran X yang dikeluarkan dan sekunder sinaran yang dikeluarkan oleh unsur-unsur yang berbeza mempunyai ciri-ciri tenaga khusus (itulah, Menurut tenaga ciri menengah sinaran jenis dan kandungan unsur-unsur yang boleh belajar). Sistem Pengesanan langkah tenaga dan sejumlah sinar sekunder ini teruja. Perisian sistem pengesanan menukarkan tenaga dikesan dan jumlah maklumat yang menjadi elemen yang sama dan kandungan, supaya jenis dan kandungan elemen dalam bahan kerja di bawah ujian dapat dikesan. Menggunakan prinsip ini menghindarkan kalajengking dari X-ray, setiap unsur dalam jadual berkala boleh diukur secara teori. Walau bagaimanapun, dalam permohonan praktikal, Banjaran berkesan unsur pengukuran adalah dari elemen 11, natrium (Na), untuk elemen 92 uranium (U).
Mengikut di atas prinsip-prinsip, apabila mengukur ketebalan salutan sampel, XRF menganalisis komposisi unsur matriks dan lapisan masing-masing. Secara amnya, elemen komposisi lapisan adalah sangat berbeza daripada matriks. Oleh yang demikian, perisian pengiraan boleh mengira ketebalan lapisan. Jika komposisi elemen pelbagai substrat dan lapisan dikesan secara berasingan terlebih dahulu dan disimpan di dalam pangkalan data komputer sebagai standard, pengesanan XRF, komposisi elemen dikesan berbanding dengan standard untuk mencari matriks sepadan jenis salutan dan menilai antara muka antara lapisan dan substrat, untuk mengukur ketebalan lapisan lebih tepat.