Prestasi dan kelebihan pam molekul turbin

Pam molekul Turbo gunanya putaran berkelajuan tinggi pendesak bergerak untuk momentum molekul gas, gas dihasilkan Aliran arah tuju dalampam vakum. Turbo molekul pam terutamanya komponen melalui badan pam, rotor dengan pisau (iaitu bergerak pendesak), pendesak statik dan sistem pacuan.

Kelebihan

Sebagai pam molekul turbo dalam beberapa aspek, ia lebih baik daripada pam cryogenic, ion pam dan penyebaran prestasi pam yang unggul. Oleh itu, dalam kes umum, lebih menggunakan pam turbo.

Refluks wap bersih, tanpa minyak (1)

Pam molekul Turbo boleh beroperasi tanpa apa-apa baik dan beroperasi mengikut peraturan operasi yang boleh menyediakan persekitaran yang bersih vakum untuk bekas dipam dan tidak mengandungi apa-apa hidrokarbon.

(2) menarik untuk menggunakan

Dalam banyak aplikasi, pam turbo mungkin memerlukan injap vakum yang tinggi atau injap vakum yang kasar. Cuma tekan butang, pam boleh mula bekerja, dari tekanan atmosfera dapat dikurangkan ke tekanan muktamad. Sistem ini boleh kasar-dipam oleh pam molekul turbo dan boleh dipercepatkan sehingga kelajuan operasi. Ini menghapuskan keperluan untuk injap paip, perangkap, injap kawalan dan lain-lain komponen vakum. Ia juga menghapuskan kegagalan komponen-komponen tersebut.

(3) kapasiti pengangkutan Gas kuat

Kebanyakan pam molekul turbo mempunyai kebolehan yang mantap untuk menyampaikan cahaya gas hidrogen dan helium, menjadikannya ideal untuk proses operasi di bawah ultra-Quality vakum. Pam molekul turbo yang direka khas untuk penyingkiran gas mengakis amat sesuai untuk etching etching reaktif ion, ion rasuk machining, pemendapan wap kimia tekanan rendah, proses implantasi epitaxy dan ion. Semasa proses ini, evacuated gas boleh menghakis cryogenic pam, pam ion, penyebaran pam minyak, dan bahkan memusnahkan pam molekul turbo standard tidak dilindungi. Seperti pam molekul turbo milik penghantaran pam, pam gas tidak akan dikira di pam, jadi ia sesuai untuk proses beban gas yang tinggi.

(4) sesuai untuk aplikasi vakum yang Ultra tinggi

Pam molekul turbo baik untuk dilekatkan dan degassing dilengkapi dengan pam putar dua peringkat dengan prestasi yang baik (atau sama prestasi kering sebelum pam). Vakum yang muktamad boleh sampai ke 10^-9hingga 10^-10Torr (133.3 kepada 13.33 nPa). Jika pam molekul turbo disambungkan ke pam turbo-molekul lain yang menggunakan pam dimeterai logam dan baik degassed, tekanan yang muktamad adalah biasanya 1 × 10^-101 × 10^-11Torr (13.33 untuk 1.333 nPa) antara. Dan tidak seperti pam cryogenic atau ion pam, pam molekul turbo beroperasi pada kelajuan penuh mengepam ultra tinggi keadaan vakum.

(5) baik prestasi di bawah tekanan tinggi

Tekanan inlet sesetengah pam molekul turbo boleh berlari antara 10^-1dan 10^-3Torr (13.33 Pa 133.3 mPa). Dalam julat tekanan ini, pam ion tidak dapat digunakan, untuk keperluan cryogenic pam untuk memperlahankan kelajuan pam atau kerap regenerasi, dan kerja-kerja penyebaran pam akan menjadi tidak stabil.

(6) masa kitaran yang pendek

Kebanyakan turbo yang molekul pam, terutamanya kecil satu, biasanya memerlukan 1 ~ 3 min hingga mencapai kelajuan berjalan normal. Pam untuk pelbagai jenis dan model yang berbeza dan boleh ditutup serta-merta dan boleh terdedah kepada atmosfera.

(7) biasa digunakan untuk jangka masa panjang

Dalam beberapa aplikasi, masa yang digunakan seperti biasa pam molekul turbo yang unggul dengan pam lain. Kerana beban berat gas dan injap bocor, akan menyebabkan pertumbuhan semula selang sering berubah-ubah pam cryogenic atau ion pam sering membaiki dan molekul turbo pam juga boleh digunakan untuk menghapuskan pencemaran minyak pam vakum Dewan.