Sebahagian daripada peralatan salutan

Peralatan moden salutan yang sebahagian besarnya terdiri daripada Dewan vakum, vakum pengambilan sebahagian, pengukuran vakum bahagian, sebahagian bekalan kuasa, sistem input proses gas, bahagian penghantaran mekanikal, Pemanas dan suhu yang mengukur unit, penyejatan ionik atau sputtering sumber dan sistem penyejuk air.

1. vakum Dewan

Peralatan salutan terutamanya mempunyai barisan pengeluaran berterusan lapisan dan lapisan tunggal-Dewan Mesin dalam dua bentuk, kerana acuan salutan mempunyai keperluan yang tinggi untuk pemanasan dan bahagian penghantaran mekanikal, dan bentuk acuan, saiz berbeza, berterusan salutan barisan pengeluaran adalah biasanya sukar untuk memenuhi keperluan, menjadi Mesin lapisan tunggal-Dewan yang digunakan.

2. vakum pengambilan sebahagian

Disebabkan oleh keperluan lekatan yang tinggi lapisan bahagian-bahagian acuan, proses salutan sebelum vakum latar belakang adalah sebaik-baiknya lebih tinggi daripada 6mPa, dan tahap vakum boleh sampai ke 0.06mPa atau lebih selepas lapisan proses selesai, supaya vakum dipilih dengan betul untuk mencapai tahap tinggi vakum adalah penting.

Sehingga kini, tidak terdapat jenis pam yang boleh bekerja dari tekanan atmosfera ke dekat dengan ultra vakum yang tinggi. Oleh itu, perolehan vakum bukanlah sebuah peralatan vakum dan kaedah dapat dicapai, ia mesti digabungkan dengan beberapa pam, pam mekanikal, sistem pam molekul, dan lain-lain.

3. vakum pengukuran bahagian

Bahagian ukuran vakum sistem vakum adalah untuk mengukur tekanan dalam Dewan vakum. Seperti pam vakum, meter vakum tidak dapat mengukur seluruh lingkup vakum, dan banyak jenis vakum tolok dibuat mengikut prinsip-prinsip yang berbeza dan keperluan.

4. kuasa bekalan sebahagian

Bekalan kuasa sasaran terutamanya merangkumi bekalan kuasa DC dan pertengahan frekuensi bekalan kuasa; bahan kerja itu sendiri biasanya memerlukan bekalan kuasa DC, nadi bekalan atau bekalan tenaga frekuensi radio.

5. proses sistem input gas

Proses gas, seperti argon (Ar), krypton (Kr), nitrogen (N₂), asetilena (C₂H₂), metana (CH₄), hidrogen (H₂) dan oksigen (O₂), biasanya dibekalkan oleh silinder gas, dan kemudian lulus ke dalam kebuk vakum melalui gas tekanan mengurangkan injap, injap dunia, paip, gas flowmeter, piezoelectric injap, injap solenoid.

Kelebihan sistem input gas ini adalah paip yang mudah, ringan dan mudah untuk membaiki atau menggantikan silinder. Setiap mesin salutan tidak mempengaruhi antara satu sama lain, dan terdapat juga beberapa Mesin salutan perkongsian sekumpulan silinder, yang boleh digunakan untuk beberapa bengkel salutan yang lebih besar. Ia mempunyai kelebihan dalam mengurangkan jumlah silinder gas, perancangan bersepadu, susun-atur yang seragam dan kelemahan adalah bahawa kemungkinan kebocoran gas meningkat disebabkan peningkatan bersama.

Setiap mesin salutan akan mempengaruhi antara satu sama lain, dan kebocoran Mesin salutan yang boleh menjejaskan kualiti Mesin lapisan yang lain. Di samping itu, apabila menggantikan silinder, ia hendaklah memastikan bahawa semua unit utama tidak digunakan.

6. bahagian penghantaran mekanikal

Lapisan alat memerlukan ketebalan yang seragam, jadi mesti ada tiga putaran dalam proses salutan untuk memenuhi keperluan. Itulah, manakala Jadual bahan kerja besar yang diperlukan untuk memutar, Jadual bahan kerja kecil juga putar, dan bahan kerja itu sendiri boleh berputar pada masa yang sama. Dalam reka bentuk mekanikal, bahagian tengah piring yang biasanya gear aktif besar, yang dikelilingi oleh beberapa roda bintang kecil, dan kemudian garpu digunakan untuk memutar bahan kerja untuk memutar.

7. Pemanas dan suhu yang mengukur unit

Apabila proses lapisan acuan, bagi memastikan bahan kerja salutan dipanaskan seragam adalah jauh lebih penting daripada Pemanas lapisan hiasan. Acuan salutan peralatan secara umumnya mempunyai dua Pemanas, pengukuran suhu thermocouple dan kawalan. Kerana perlawanan thermocouple untuk tetapan yang berbeza, bacaan suhu tidak boleh suhu sebenar bahan kerja. Untuk mengukur suhu sebenar bahan kerja, termometer permukaan (permukaan Thermomeer) boleh digunakan. Prinsip termometer itu adalah bahawa apabila termometer yang dipanaskan, bahagian bawah Spring akan dipanaskan sehingga Kembang, supaya penuding untuk mempromosikan pusingan penunjuk kedudukan sehingga suhu maksimum. Semasa penyejukan, spring mengecut dan penuding reversely putar, tetapi penunjuk kedudukan tetap pada suhu yang tinggi dan suhu penunjuk membaca selepas pembukaan pintu kebuk vakum apabila Dewan vakum dipanaskan, lokasi termometer di permukaan telah mencapai nilai suhu tertinggi.

8. ionik penyejatan atau sputtering sumber

Penyaduran arc pelbagai sumber penyejatan adalah secara amnya Pekeliling, dikenali sebagai sasaran kek bulat, dalam beberapa tahun kebelakangan telah banyak segi empat tepat arc berbilang sasaran, tetapi tiada kesan ketara. Sasaran kek bulat dipasang pada kerusi sasaran tembaga (katod kerusi), kedua-duanya dihubungkan melalui tulang rusuk tersebut. Kerusi sasaran tersebut dilengkapi dengan sebuah magnet, dengan menggerakkan magnet belakang dan ke hadapan, kekuatan medan magnet, arc laras yang berubah-ubah tempat bergerak laju dan trajektori. Mengurangkan suhu target dan sasaran pemegang, air penyejukan perlu terus dibekalkan kepada pemegang sasaran. Bagi memastikan kekonduksian tinggi dan keberaliran haba antara sasaran dan pemegang sasaran, gasket (Sn) yang timah boleh ditambah antara target dan sasaran.

9. sistem penyejukan air

Bagi meningkatkan kadar pengionan kepada atom logam, masing-masing target katod output pada sebuah kuasa besar dan oleh itu perlu disejukkan secukupnya. Pelbagai jenis acuan lapisan, suhu Pemanas tersebut adalah 400 ~ 500℃, oleh itu, di dinding Dewan vakum, penyejukan permukaan pengedap adalah juga sangat penting, jadi air penyejukan yang sesuai digunakan dalam chiller air kira-kira 18 ~ 20℃.

Setelah pintu dibuka, untuk mengelakkan suhu rendah dinding Dewan vakum, sasaran katod dan pemendakan perhubungan udara panas air, buka pintu dalam 10 minit pertama, sistem penyejukan perlu beralih ke keadaan air panas, suhu air panas kira-kira 40 ~ 45℃.