pam molekul

pam molekul

Pam molekul digunakan untuk menggantikan pam kriogenik dalam banyak kesempatan teknologi dalam bidang semikonduktor di luar negara, terutamanya alat sputtering, etching dan LCVD, yang menggunakan pam molekul komposit dan pam daya tarikan sebagai pam utama.
Masa ekzos pam molekul lebih panjang daripada pam kriogenik kerana kelajuan pengepaman pam molekul hanya satu perempat dari kelajuan pam pam kriogenik dengan diameter yang sama. Untuk meningkatkan kelajuan pengepaman, plat sejuk suhu rendah -130 ℃ ~ -150 ℃ dipasang di bahagian masuk pam molekul di negara asing, yang disebut pam molekul suhu rendah. Wap air ditangkap oleh plat suhu rendah, dan gas lain dipam oleh pam molekul.
Penggunaan pam molekul suhu rendah ini di kilang pelapisan vakum bukan sahaja meningkatkan kecekapan pengeluaran tetapi juga meningkatkan kualiti filem. Dengan perkembangan pesat industri semikonduktor China, industri filem dan penyelidikan saintifik China, pam molekul seharusnya menjadi tumpuan industri pembuatan pam vakum China&# 39.
Pertama sekali, pam molekul dari kecil ke besar untuk mewujudkan rangkaian lengkap, dan penyelidikan dan pengembangan pelbagai pam molekul komposit, pam daya tarikan dan pam molekul suhu rendah, untuk memenuhi keperluan berbagai kesempatan

Syarikat PVD IKS, mesin pelapis hiasan, mesin pelapisan alat, mesin salutan optik, garisan lapisan vakum PVD. Hubungi kami sekarang, E-mel: iks.pvd@foxmail.com