bekalan kuasa magnetron sputtering frekuensi sederhana

Kemunculan bekalan kuasa spektring magnetron frekuensi sederhana terutamanya disebabkan oleh keracunan sasaran dan pencucuhan busur semasa sputtering reaktif daya dc. Pemancaran busur tidak hanya dimanifestasikan dalam sputtering reaktif, tetapi juga dapat terjadi pada pemancaran logam dc, sehingga morfologi permukaan lapisan tidak cukup padat, yang secara serius mempengaruhi kestabilan sistem dan kualiti filem. Bekalan kuasa sputtering frekuensi pertengahan dengan dua target sputtering sebagai beban, dua target berfungsi secara bergantian, jadi sputtering menargetkan satu siklus sputtering selama lebih dari setengah waktu voltan terbalik oleh sputtering, membuat pelepasan penuh muatan terkumpul di permukaan bahan sasaran, bermanfaat untuk menahan pelepasan busur dan permukaan keracunan sasaran, sangat sesuai untuk persekitaran reaksi menggunakan lapisan membran.
Berbanding dengan bekalan kuasa dc, jika bekalan kuasa juga mempunyai fungsi penyesuaian frekuensi dan kitaran tugas (hanya jenis output gelombang persegi), kedua parameter ini juga mempunyai pengaruh penting pada proses pelapisan.

Syarikat PVD IKS, mesin pelapis hiasan, mesin pelapisan alat, mesin pelapis optik, garisan cetakan vakum PVD. Hubungi kami sekarang, E-mel: iks.pvd@foxmail.com