Pengenalan Bias

Voltan bias merujuk kepada voltan negatif yang digunakan untuk substrat semasa proses salutan. Terminal positif bekalan kuasa bias disambungkan ke ruang vakum, manakala ruang vakum diasaskan. Terminal negatif tegangan bias disambungkan ke bahan kerja. Kerana voltan bumi pada umumnya dianggap sebagai potensi sifar, voltan pada benda kerja yang berat sebelah negatif, disebut sebagai berat sebelah.

1. Fungsi kecenderungan negatif

◆ Menyediakan tenaga zarah;

◆ Pemanasan kesan pada substrat;

◆ Mengeluarkan kotoran gas dan berminyak yang terserap pada substrat adalah berfaedah untuk meningkatkan kekuatan ikatan filem;

◆ Aktifkan permukaan substrat;

◆ Bagi zarah besar dalam penyaduran arka ion mempunyai kesan penyucian.

2. Klasifikasi voltan bias

(1) Menurut bentuk gelombang boleh dibahagikan kepada:

Bias DC   Bias DC berdenyut

DC denyut nadi denyut nadi bias Bipolar

(2) Mengikut keperluan untuk menukar voltan tinggi dan voltan rendah apabila kuasa digunakan, ia boleh dibahagikan kepada:

Rajah output kuasa menukar voltan tinggi dan voltan rendah

Tidak perlu menukar suis regulasi berterusan stepless voltan tinggi dan rendah

Parameter laras bekalan kuasa bias: amplitud bias, nisbah tugas, kekerapan, dan bentuk gelombang.

3. ciri-ciri bekalan kuasa bias

◆ Bilangan pemadaman arka seminit.

◆ Pengesanan sensitiviti arka besar (mJ / kW tenaga arka yang boleh dikesan).

4. Muatkan ciri-ciri berat sebelah

Beban kerja bias adalah plasma, dan pameran plasma resistif apabila bias DC digunakan. Untuk yang lain, apabila bias berdenyut diterapkan, plasma mempamerkan resistif + kapasitif, yang boleh dianggap sebagai sambungan siri resistor dan kapasitor. Inti kapasitansi disebabkan oleh sarung plasma pada substrat.