Memperkenalkan daripada pengawal aliran jisim

Pengawal aliran jisim (MFC) digunakan untuk pengukuran yang tepat dan kawalan kadar alir jisim gas. Ia biasanya terdiri daripada penderia aliran, injap kawalan aliran, amplifying kawalan litar dan shunt kawalan saluran. Bekalan tenaga kerja dan paparan aliran dan persekitaran operasi dengan sokongan paparan aliran bekalan kuasanya.

Penggunaan dan ciri-ciri

MFC memainkan peranan penting dalam penyelidikan saintifik dan penerbitan dalam pelbagai bidang seperti industri Mikroelektronik semikonduktor, pembangunan bahan khas, industri kimia, industri petroleum, perubatan, perlindungan alam sekitar dan vakum.

Aplikasi yang biasa termasuk: peralatan elektronik proses penyebaran, pengoksidaan, epitaxy, CVD, plasma etching, sputtering, ion implantasi; dan vakum lapisan peralatan, Gas chromatographs dan lain-lain peralatan analitikal.

Aliran jisim flowmeter pengawal dan jisim dengan ketepatan yang tinggi, baik repeatability, kelajuan cepat respon, mula lembut, pelbagai tekanan kerja yang stabil dan boleh dipercayai (yang boleh bekerja di bawah tekanan tinggi atau keadaan vakum), operasi adalah mudah untuk digunakan. MFC boleh dipasang di kedudukan mana-mana, dan disambungkan dengan komputer untuk menyedari kawalan automatik.

Flowmeter yang secara umumnya dibahagikan kepada berikut:

1. isipadu flowmeter

Ia menggunakan elemen mekanikal pengukur untuk terus membahagikan cecair kepada sebahagian satu volum yang dikenali. Aliran isipadu cecair diukur menurut bilangan isipadu cecair yang penuh dan dilepaskan satu demi satu dalam berturut-turut dari Dewan pengukur.

2. terapung flowmeter (rotor flowmeter)

Flowmeter apungan adalah sejenis flowmeter kawasan yang berubah-ubah, di kon menegak dari sehingga ke bawah, bahagian cross Pekeliling apungan yang graviti disokong oleh kuasa cecair, supaya apungan yang boleh percuma dalam kon naik dan jatuh.

3. perbezaan tekanan flowmeter

Ia adalah berdasarkan perbezaan tekanan yang dihasilkan oleh pengesan aliran yang dipasang pada paip, keadaan cecair dikenali dan meter untuk mengira aliran antara paip dan paip.

4. vortex street flowmeter (VSF)

Penjana bebas-memperkemaskan vortex yang diletakkan dalam cecair dan cecair dipisahkan seli pada kedua-dua belah badan penjanaan untuk melepaskan dua siri instrumen kerap jalinan vortex.

5. turbin flowmeter

Ia adalah jenis utama flowmeter halaju. Ia menggunakan multi bilah rotor (turbin) baunya purata halaju bendalir, dan menyimpulkan instrumen isipadu aliran atau jumlah.

6. ultrasonik flowmeter

Ia adalah pengukuran aliran dengan mengukur kesan aliran bendalir ultrasonik rasuk (atau denyut ultrasonik).

7. elektromagnet flowmeter

Flowmeter elektromagnet itu adalah sejenis alat untuk mengukur konduktiviti cecair menurut hukum Faraday's aruhan elektromagnet.

8. haba flowmeter besar-besaran

Sensor haba flowmeter mengandungi dua unsur-unsur sensing, penderia kelajuan dan penderia suhu. Mereka secara automatik dapat membayar pampasan dan Tentukur perubahan suhu gas. Sebahagian alat Pemanas elektrik dipanaskan sensor kelajuan yang nilai tertentu yang lebih tinggi daripada suhu keadaan kerja, supaya perbezaan suhu antara sensor kelajuan dan sensor pada keadaan suhu kerja adalah ditubuhkan. Apabila perbezaan suhu dikekalkan malar, tenaga yang digunakan oleh Pemanas elektrik adalah berkadar dengan aliran jisim aliran gas, dan sesuai untuk mengukur gas tunggal dan perkadaran tetap pelbagai komponen gas.