Cara PECVD berfungsi
Apr 17, 2024| Cara PECVD berfungsi
Kaedah PECVD digunakan untuk mengembangkan filem nipis silikon nitrida menggunakan ciri-ciri plasma bukan keseimbangan, iaitu, molekul plasma, atom, ion atau kumpulan aktif adalah sama dengan persekitaran sekeliling, dan elektron bukan keseimbangan kerana jisimnya yang kecil, suhu purata mereka boleh menjadi dua urutan magnitud lebih besar daripada zarah lain, jadi dalam keadaan biasa, Suhu Tinggi (300 darjah C -450 darjah C) diperlukan untuk mencapai banyak tindak balas. Semasa proses pemendapan, molekul gas khas NH3 dan SiH4 mempunyai gerakan haba yang sengit di bawah tindakan frekuensi tinggi dan berlanggar antara satu sama lain untuk mengionkan molekulnya dan kemudian menjana SiNx.
Syarikat IKS PVD, mesin salutan hiasan, mesin salutan alat, mesin salutan DLC, mesin salutan optik, talian salutan vakum PVD, projek kunci-kunci tersedia. Hubungi kami sekarang, E-mel: iks.pvd@foxmail.com