Gabungan sistem vakum ultra-tinggi
Aug 30, 2021| Gabungan sistem vakum ultra-tinggi
Untuk sesetengah sistem vakum dengan keperluan khas, seperti yang memerlukan vakum ultra tinggi atau vakum ultra tinggi tanpa minyak, dan pada masa yang sama memenuhi keperluan mengepam kasar dan dapat mengatasi sejumlah besar gas yang dikeluarkan semasa proses, sistem gabungan boleh digunakan untuk memenuhi keperluan. FIG. 1 menunjukkan gambar rajah skema sistem vakum mesin salutan vakum ultra tinggi bebas minyak. Pam utama adalah pam ion yang mengalir, yang dilengkapi dengan pam sublimasi titanium untuk meningkatkan tahap vakum dan melepaskan sejumlah besar gas yang dihasilkan oleh bahan penyejatan. Kekosongan muktamad boleh mencapai 6.67×10-7Pa. Pam pra-pam dengan pam penapis molekul sebagai pam utama. Di samping itu, sistem ini juga dilengkapi dengan perangkap adsorption - sistem pam mentah mekanikal, apabila tekanan lebih besar daripada 1333Pa, pam mekanikal tidak mudah untuk kembali minyak, pam mekanikal secara langsung mengosongkan ruang vakum, apabila tekanan ruang vakum lebih rendah daripada 1333Pa, pam mekanikal melalui perangkap adsorption 9 dari ruang vakum pintasan.
1. Ruang vakum 2. Injap pintu vakum ultra tinggi 3. Sputtering ion pam 4. Titanium sublimation pam 5. Injap vakum ultra tinggi 6. Injap pelepasan 7. Injap vakum tinggi 8. Pam penapis molekul 9. Adsorption trap 10. Pam mekanikal
Gambar rajah FIG. 1 Skema sistem vakum mesin salutan vakum ultra tinggi bebas minyak
Syarikat PVD IKS, mesin salutan hiasan, mesin salutan alat, mesin salutan optik, talian salutan vakum PVD, projek turn-key tersedia. Hubungi kami sekarang, E-mel:iks.pvd@foxmail.com