Komponen Asas Peralatan Salutan Alat

Peralatan salutan vakum moden (teknologi pemanasan seragam, teknologi pengukuran suhu, teknologi magnetron sputtering yang tidak seimbang, teknologi anoder tambahan, bekalan kuasa frekuensi pertengahan, teknologi denyutan) kebanyakannya terdiri daripada ruang vakum, vakum pam, seksyen pengukuran vakum, bahagian bekalan kuasa, proses sistem input gas, bahagian penghantaran mekanikal, pemanasan dan bahagian pengukuran suhu, penyejatan ion atau sumber sputtering, sistem penyejukan air dan bahagian-bahagian lain.

1. Vacuum Chamber

Peralatan salutan terutamanya dibahagikan kepada garis pengeluaran lapisan berterusan dan mesin salutan bilik tunggal. Oleh kerana keperluan tinggi acuan dan salutan alat pada pemanasan dan bahagian-bahagian penghantaran mekanikal, serta bentuk dan saiz yang besar dari acuan, garis pengeluaran salutan yang berterusan biasanya sukar untuk memenuhi keperluan dan ruang kebuk tunggal sentiasa digunakan.

2. Sistem Pembungkusan Vakum

Dalam teknologi vakum, sistem pengepam vakum adalah bahagian penting. Oleh kerana keperluan lekatan dan acuan alat lekatan yang tinggi, proses salutan memerlukan vakum latar belakang yang baik, jadi pemilihan sistem vakum peralatan yang berpatutan adalah penting untuk mencapai tahap vakum yang tinggi. Pada masa ini, tiada pam yang boleh beroperasi dari tekanan atmosfera sehingga ia menghampiri vakum yang sangat tinggi. Oleh itu, vakum yang baik tidak dapat dicapai oleh peralatan atau kaedah vakum tunggal. Beberapa pam mesti digunakan dalam gabungan, seperti sistem pam mekanikal, sistem pam molekul dan sebagainya.

3. Sistem Pengukuran Vakum

Bahagian pengukuran vakum sistem vakum digunakan untuk mengukur tekanan dalam ruang vakum. Seperti pam vakum, tidak ada tolok vakum yang dapat mengukur seluruh julat vakum. Begitu banyak jenis tolok vakum dihasilkan mengikut prinsip dan keperluan yang berbeza.

4. Sistem Bekalan Kuasa

Bekalan kuasa sasaran terutamanya termasuk bekalan kuasa DC (seperti MDX) dan bekalan kuasa frekuensi pertengahan (seperti PE, PEII, dan PINACAL Syarikat AE Amerika). Bahan kerja itu sendiri biasanya perlu dibekalkan dengan kuasa DC (seperti MDX), bekalan kuasa berdenyut (seperti PINACAL + yang dihasilkan oleh Syarikat AE Amerika Syarikat), Atau bekalan kuasa RF (RF).

5. Proseskan Sistem Input Gas

Proses gas, seperti argon (Ar), helium (Kr), nitrogen (N2), asetilena (C2H2), metana (CH4), hidrogen (H2), dan oksigen (O2) biasanya dibekalkan oleh silinder gas. Mereka memasuki kebuk vakum melalui tekanan gas yang mengurangkan injap, injap tutup gas, saluran paip, meter aliran gas, injap solenoid, injap piezoelektrik. Kelebihan sistem input gas jenis ini adalah bahawa paip itu mudah dan jelas, dan mudah untuk memperbaiki atau menggantikan silinder. Juga, setiap mesin salutan tidak menjejaskan satu sama lain. Selain itu, terdapat juga kes di mana pelbagai lapisan berkongsi sekumpulan silinder, yang boleh didapati di beberapa kedai salutan yang lebih besar, kelebihannya ialah ia mengurangkan penggunaan silinder gas, dan membuat perancangan dan tata letak bersatu. Kelemahannya ialah peluang kebocoran meningkat akibat banyak sendi. Selain itu, mesin salutan akan mengganggu satu sama lain, dan kebocoran udara pada mesin salutan mesin boleh menjejaskan kualiti produk mesin salutan lain. Di samping itu, apabila menggantikan silinder, ia mesti memastikan bahawa semua kerangka utama berada dalam keadaan yang tidak digunakan.

6. Sistem Penghantaran Mekanikal

Salutan alat memerlukan filem itu mesti seragam dalam ketebalannya. Oleh itu, mesti ada tiga putaran dalam proses salutan untuk memenuhi keperluan. Maksudnya, semasa putaran jadual kerja besar berjalan, sebuah benda kerja kecil yang membawa meja juga berputar, dan benda kerja itu sendiri boleh berputar pada masa yang sama. Dalam reka bentuk mekanikal, biasanya ada gear memandu yang besar di tengah-tengah bahagian bawah meja kerja besar, dikelilingi oleh beberapa roda bintang kecil untuk memasukinya, dan kemudian menggunakan garpu peralihan untuk bertukar-tukar bahan kerja untuk berputar. Sudah tentu, apabila membuat lapisan acuan, secara amnya dua putaran adalah mencukupi, tetapi kapasiti beban gear mesti dipertingkatkan.

7. Sistem Pengukuran Pemanasan dan Suhu

Apabila membuat salutan acuan, bagaimana memastikan pemanasan seragam bahan kerja adalah lebih penting daripada proses salutan hiasan. Peralatan salutan acuan umumnya mempunyai dua pemanas belakang dan belakang, dan termokopel digunakan untuk mengukur dan mengawal suhu. Walau bagaimanapun, disebabkan titik pengekodan termokopel yang berbeza, bacaan suhu tidak boleh menjadi suhu sebenar bahan kerja. Terdapat banyak cara untuk mengukur suhu sebenar bahan kerja. Berikut adalah Permukaan Thermomeer yang mudah digunakan. Prinsip kerja termometer ini ialah apabila termometer dipanaskan, musim bunga di bahagian bawah akan dipanaskan untuk berkembang, sehingga penunjuk akan mendorong penunjuk kedudukan berputar hingga suhu maksimum. Apabila suhu dikurangkan, musim bunga mengecut dan penunjuk berputar dalam arah belakang, tetapi penunjuk kedudukan tetap pada kedudukan suhu tertinggi. Selepas pintu dibuka, suhu yang ditunjukkan oleh penunjuk kedudukan dibaca, iaitu suhu tertinggi yang termometer permukaan telah tercapai apabila dipanaskan di ruang vakum.

8. Penyejatan Ion dan Sumber Sputtering

Sumber penyejatan penyaduran berbilang arka secara umumnya bulat, biasanya dikenali sebagai sasaran bulat. Dalam tahun-tahun kebelakangan ini, sasaran berbilang arka segi empat tepat juga telah muncul, tetapi tiada kesan jelas telah diperhatikan. Sasaran bulat dipasang pada pemegang sasaran tembaga (pemegang katod) dan kedua-duanya diskrukan bersama. Terdapat magnet di pemegang sasaran, dan kekuatan medan magnet boleh diubah dengan menggerakkan magnet ke belakang dan sebagainya, dan juga kelajuan bergerak dan trek arc spot dapat disesuaikan dengan cara ini juga. Untuk mengurangkan suhu sasaran dan pemegang sasaran, air penyejuk terus dibekalkan kepada pemegang sasaran. Dan untuk memastikan kekonduksian elektrik dan haba yang tinggi antara sasaran dan pemegang sasaran, gasket timah (Sn) juga boleh ditambah antara sasaran dan pemegang sasaran. Selain itu, salutan magnetron sputtering umumnya menggunakan sasaran segi empat tepat atau silinder.

9. Sistem Penyejuk Air

Untuk salutan acuan, untuk meningkatkan kadar atomisasi logam, setiap pemegang sasaran katod mengamalkan output kuasa yang besar sebanyak mungkin, yang memerlukan penyejukan yang mencukupi. Di samping itu, suhu pemanasan pelbagai jenis alat dan lapisan acuan adalah 400 ~ 500 ℃ . Oleh itu, penyejukan dinding kebuk vakum dan setiap permukaan pengedap juga sangat penting, oleh itu, air penyejuk sebaiknya dibekalkan dari penyejuk sekitar 18 hingga 20 ℃ . Untuk mengelakkan dinding kebuk vakum suhu rendah dan sasaran katod melarutkan air apabila bersentuhan dengan udara panas selepas membuka pintu, sistem penyejukan air harus beralih ke keadaan bekalan air panas sekitar 10 minit sebelum pintu dibuka. Suhu air panas adalah kira-kira 40 ~ 45 ℃.