Meter Alir Massa Tinggi
Pengenalan Meter aliran jisim (MFC) terdiri daripada tiga peranti asas: sensor aliran, pintasan pembahagi aliran dan papan litar bercetak, ia mengukur dengan tepat kadar aliran massa yang menolak isipadu gas berfluktuasi kerana perubahan suhu. MFC digunakan secara meluas dalam bidang semikonduktor dan IC ...
- pengenalan produk
Spesifikasi
Banjir Aliran | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM |
Ketepatan | ± 1.5% FS |
Linearity | ± 1% FS |
Kebolehulangan | ± 0.2% FS |
Masa tindak balas | ≤4 saat |
Suhu Coefficien t | Sifar: ≤ ± 0.1% FS / ℃; Span: ≤ ± 0.2% FS / ℃ |
Tekanan Maks | 3MPa |
Suhu Operasi | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
Bahan Pengedap | Viton, Neoprena |
Menetapkan / Isyarat Output | 0V ~ + 5.00V (Input Impedance> 100K, Output Current≤3ma) |
Bekalan Kuasa | + 15V 50mA -15V 50mA |
Sambungan elektrik | D sub 15 pin Perempuan |
Tekanan Berbeza | 0 .01 MPa |
Kadar kebocoran | 1 × 10-8atm • cc / sec Dia (1 × 10-9 Pa • m 3 / sec Dia) |
Standard Bersama | SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (Inner) × 1 Hose Coupler, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 ", φ6 (Inner) × 1 Hose Coupler |
Media | Semua Gas |
Emi | CE |
Berat badan | 0.92kg |
Pengenalan
Meter aliran jisim (MFC) terdiri daripada tiga alat asas: sensor aliran, litar pemisah aliran dan papan litar bercetak, ia mengukur dengan tepat langkah aliran jisim yang menolak isipadu gas berfluktuasi kerana perubahan suhu. MFC digunakan secara meluas dalam bidang semikonduktor dan fabrikasi IC, sains bahan khas, industri kimia, industri petrol, industri farmaseutikal, perlindungan alam sekitar, penyelidikan sistem vakum, dan sebagainya.
ciri-ciri
◆ Ketepatan tinggi, hayat perkhidmatan yang panjang, kebolehulangan yang sangat baik
◆ Sambutan cepat, permulaan lembut, kebolehpercayaan yang baik
◆ Pelbagai tekanan operasi yang luas (operasi yang baik dalam tekanan tinggi atau keadaan vakum)
◆ Operasi mudah dan mudah
◆ Ia boleh dipasang di mana sahaja diperlukan dan dihubungkan dengan komputer untuk merealisasikan kawalan automatik.
Permohonan Biasa
Aplikasi khas MFC termasuk peralatan proses mikroelektronik seperti penyebaran, pengoksidaan, epitaxy, CVD, plasma, etsa, sputtering, implantasi ion dan bidang lain seperti peralatan pemendapan vakum, lebur serat optik, peralatan reaksi mikro, sistem pencampuran & padanan gas , sistem kawalan aliran kapilari, kromatografi gas dan instrumen analisis lain.
Dimensi Pemasangan
Pembungkusan: 1. Kotak kayu
2. kadbod
3. Sebagai permintaan anda
Pembayaran: T / T, L / C, dll.
Masa penghantaran: Biasanya 10 ~ 15 hari selepas pembayaran
Penghantaran: Melalui udara atau laut
Cool tags: meter aliran jisim vakum yang tinggi, China, pengeluar, pembekal, beli, disesuaikan, dibuat di China
